[發明專利]包含Ni-P合金或Ni-Pt-P合金的濺射靶及其制造方法有效
| 申請號: | 201580016385.3 | 申請日: | 2015-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN106133185B | 公開(公告)日: | 2018-09-28 |
| 發明(設計)人: | 大橋一允;小田國博 | 申請(專利權)人: | 捷客斯金屬株式會社 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;B22F1/00;B22F3/14;B22F3/15;B22F9/08;C22C19/03;G11B5/851 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人: | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 包含 ni 合金 pt 濺射 及其 制造 方法 | ||
【說明書】:
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