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[發明專利]包含Ni-P合金或Ni-Pt-P合金的濺射靶及其制造方法有效

專利信息
申請號: 201580016385.3 申請日: 2015-03-12
公開(公告)號: CN106133185B 公開(公告)日: 2018-09-28
發明(設計)人: 大橋一允;小田國博 申請(專利權)人: 捷客斯金屬株式會社
主分類號: C23C14/34 分類號: C23C14/34;B22F1/00;B22F3/14;B22F3/15;B22F9/08;C22C19/03;G11B5/851
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 代理人: 胡嵩麟;王海川
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 包含 ni 合金 pt 濺射 及其 制造 方法
【說明書】:
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