[發明專利]襯底運輸設備在審
| 申請號： | 201580014344.0 | 申請日： | 2015-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN106103011A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | R.T.卡夫尼 | 申請（專利權）人： | 布魯克斯自動化公司 |
| 主分類號： | B25J11/00 | 分類號： | B25J11/00;B25J18/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 吳超;張昱 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 運輸設備 | ||
【權利要求書】：
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