[發明專利]研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨裝置及漿料有效
| 申請號: | 201580006561.5 | 申請日: | 2015-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN105940076B | 公開(公告)日: | 2017-12-29 |
| 發明(設計)人: | 藤本俊一;山下哲二 | 申請(專利權)人: | 旭日化成工業株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14;B24B1/00;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司: | 上海德昭知識產權代理有限公司31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
| 地址: | 日本東京都中央*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 研磨 用磨粒 及其 制造 方法 裝置 漿料 | ||
1.一種復合磨粒,用于對藍寶石進行濕式研磨,其特征在于:
將莫氏硬度為7以上9以下的粒子狀的第一研磨劑,對所述被研磨材具有機械化學作用的粒子狀的第二研磨劑,以及對漿料所使用的純水為難溶性且由堿金屬鹽或堿土類金屬鹽構成的粒子狀的摩擦熱反應劑的混合物,通過機械合金化直接結合從而一體化成粒狀,
其中,所述第一研磨劑為Al2O3、ZrSiO4或ZrO2,
所述第二研磨劑是選自Cr2O3、Fe2O3、SiO2的群中的一種或兩種以上的材料,
所述摩擦熱反應劑是選自CaCO3、SrCO3、MgCO3、BaCO3、Li2CO3、Ca3(PO4)2、Li3PO4以及AlK(SO4)2的群中的一種或兩種以上的材料,并且占所述經一體化粒子的5重量百分比以上95重量百分比以下。
2.權利要求項1所述的復合磨粒,其特征在于:
其中,所述第一研磨劑占所述經一體化粒子的5重量百分比以上95重量百分比以下。
3.權利要求項1所述的復合磨粒,其特征在于:
其中,所述第二研磨劑占所述經一體化粒子的5重量百分比以上95重量百分比以下。
4.權利要求項1所述的復合磨粒,其特征在于:
其中,選擇SiO2作為所述第二研磨劑時,選擇莫氏硬度比SiO2大者作為所述第一研磨劑。
5.一種復合磨粒,其特征在于:
將莫氏硬度為7以上9以下的粒子狀的第一研磨劑,對所述被研磨材具有機械化學作用的粒子狀的第二研磨劑,以及對漿料所使用的純水為難溶性且由堿金屬鹽或堿土類金屬鹽構成的粒子狀的摩擦熱反應劑的混合物,通過機械合金化直接結合從而一體化成粒狀,
其中,所述第一研磨劑為Al2O3、ZrSiO4或ZrO2,
所述第二研磨劑是選自Cr2O3、Fe2O3、SiO2的群中的一種或兩種以上的材料,
所述摩擦熱反應劑是選自CaCO3、SrCO3、MgCO3、BaCO3、Li2CO3、Ca3(PO4)2、Li3PO4及AlK(SO4)2的群中的一種或兩種以上的材料。
6.一種復合磨粒,其特征在于:
是通過機械合金化使權利要求項1或5所述的第一研磨劑與第二研磨劑與摩擦熱反應劑結合而一體化成平均粒徑為0.05μm以上100μm以下的粒子狀。
7.一種復合磨粒的制造方法,其特征在于:
通過機械合金化使權利要求項1或5的第一研磨劑與第二研磨劑與摩擦熱反應劑結合而一體化成平均粒徑為0.05μm以上100μm以下的粒子狀。
8.一種漿料,其特征在于:
是將權利要求項1或5所述的復合磨粒分散于純水中而構成的。
9.一種研磨方法,對藍寶石進行濕式研磨,其特征在于:
再以15重量百分比的濃度將所述復合磨粒分散于100毫升純水而構成漿料時,選擇權利要求項1或5所述的復合磨粒的調配從而使攝氏25度時的pH為5以上9以下。
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