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[實用新型]一種蝕刻機的清洗裝置有效

專利信息
申請號: 201521108518.3 申請日: 2015-12-29
公開(公告)號: CN205599566U 公開(公告)日: 2016-09-28
發明(設計)人: 王超;陳文化 申請(專利權)人: 珠海藍冠電子科技有限公司
主分類號: B08B3/02 分類號: B08B3/02;C23F1/08
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 519100 廣*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 蝕刻 清洗 裝置
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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