[實用新型]具有自動對焦功能的晶圓檢測設備有效
| 申請號： | 201521042389.2 | 申請日： | 2015-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN205562431U | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 莫陽;劉濤;王喜寶 | 申請（專利權）人： | 天津津芯微電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300000 天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 自動 對焦 功能 檢測 設備 | ||
【權利要求書】：
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