[實用新型]高真空多功能鍍膜樣品臺

有效

• 申請號: 201521034429.9
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN205223342U
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 李璐
• 申請（專利權）人: 沈陽科誠真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.高真空多功能鍍膜樣品臺，其特征在于，包括：升降機構組件、旋轉機構組 件、滑動密封管焊件、擋板機構鎖母、掛架機構組件、托架機構組件、擋板機 構組件，所述滑動密封管焊件一側設有升降機構組件，頂部設有旋轉機構組件， 底部設有擋板機構鎖母，所述托架機構組件上方設有擋板機構鎖母，下方設有 掛架機構組件，所述托架機構組件上方設有托架機構組件，一側設有擋板機構 組件。

2.根據權利要求1所述的高真空多功能鍍膜樣品臺，其特征在于，其驅動方 式采用步進電機以及減速電機混合。

3.根據權利要求1所述的高真空多功能鍍膜樣品臺，其特征在于，所述旋轉 機構組件采用磁流體做旋轉，直線軸承做輔助傳動。

4.根據權利要求1所述的高真空多功能鍍膜樣品臺，其特征在于，所述升降 機構組件以焊件波紋管為升降輔助，并以接觸開關做限位輔助。

5.根據權利要求1所述的高真空多功能鍍膜樣品臺，其特征在于，所述滑動 密封管焊件頂部設有手柄，所述手柄為手動切換模板圖形。