[實用新型]一種晶棒磨邊設備

有效

• 申請號: 201521026774.8
• 申請日: 2015-12-10
• 公開（公告）號: CN205166583U
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 蔣軍
• 申請（專利權）人: 海寧光泰太陽能工業有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B45/00
• 代理公司: 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 章松偉

技術領域

本實用新型屬于多晶硅生產設備設計領域，具體涉及一種晶棒磨邊設備。

背景技術

在硅片加工過程中，晶棒磨邊是硅片切割加工前的一道重要工序，按工藝要 求，晶棒磨邊不能出現光亮，更不能出現崩邊，否則，就會影響硅片質量，崩邊 會直接減少晶棒的得片率即影響晶棒的利用率，經濟損失很大?，F有磨邊工藝大 都采用晶棒磨邊設備對晶棒的棱邊進行打磨，由于現有的磨邊設備結構復雜，容 易出現故障；另外，為了確保晶棒打磨效果及效率，需要定期更換打磨部件-磨 盤?，F有的晶棒磨邊設備中，磨盤大都通過螺釘固定在基座上，導致磨盤拆裝操 作比較繁瑣，費時費工。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種晶棒磨邊設備，其結構簡單合理，并且其上 磨盤拆裝便捷，省時省工。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種晶棒磨邊設備，包括機架，所述機架上設有V形定位槽和設于所述V 形定位槽下方的打磨裝置；還包括驅動所述打磨裝置沿橫向往復移動的驅動裝 置，所述驅動裝置包括驅動電機和受所述驅動電機驅動的絲桿；所述打磨裝置包 括與所述絲桿配合的活動座、設于所述活動座上的打磨電機和由所述打磨電機驅 動的打磨組件，所述打磨組件包括與所述打磨電機的輸出軸固定相連的基座和設 于所述基座上的磨盤，所述基座上端面開設有燕尾槽，所述磨盤底端設有與所述 燕尾槽相配合的燕尾凸臺，所述燕尾槽內設有將所述燕尾凸臺鎖定的鎖定組件；

所述鎖定組件為彈性鎖定組件，其設置在所述燕尾槽內的階梯型的限位通孔 內，所述彈性鎖定組件包括依次設置于限位通孔內的鎖塊、為所述鎖塊提供復位 彈力的彈簧和與限位通孔螺接的限位件；所述燕尾槽與所述燕尾凸臺完成配合后 所述鎖塊在所述彈簧的作用下從限位通孔伸出，其上阻擋面適于抵靠在所述燕尾 凸臺的相應端面上，所述鎖塊上背對阻擋面的一側設有傾斜引導面。

優選的，所述機架下端設有滾輪和能夠調節所述機架高度的支撐腳，所述支 撐腳包括螺桿和與所述螺桿下端可轉動連接的支撐座，所述螺桿上連接有用于將 其固定在所述機架上的上緊固螺母和下緊固螺母，所述機架上設有用于固定所述 螺桿的安裝板，所述安裝板開設有適于所述螺桿穿插的通孔，所述螺桿設于所述 通孔內，所述螺桿穿過所述通孔后通過所述上緊固螺母和所述下緊固螺母夾緊所 述安裝板的方式將其固定在所述安裝板上。

優選的，所述驅動電機通過螺栓與所述機架螺接，所述機架上用于所述螺栓 穿插的孔為條形通孔。

優選的，所述磨盤上表面設有若干向上凸起的打磨凸條，所述打磨凸條上端 面為打磨面。

優選的，多個所述打磨凸條由所述磨盤中心向外呈輻射狀延伸，相鄰所述打 磨凸條之間形成排料槽。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：采用本實用新型中的結構，打 磨時，開啟機器，將晶棒放入V形定位槽內，利用打磨電機驅動所述打磨組件進 行高速轉動，驅動電機驅動絲杠進行正、反兩向轉動，同時絲杠帶動活動座進行 往復橫向運動，實現設備的打磨功能，該設備結構簡單合理，故障率很低，實踐 證明具有很好的使用效果；另外，在組裝磨盤和基座時，將磨盤上的燕尾凸臺插 入基座上的燕尾槽內，燕尾凸臺在插入燕尾槽的過程中，通過傾斜引導面引導鎖 塊向下方運動，使鎖塊進入限位通孔內，這樣，燕尾凸臺就能順暢的移動到所需 要的位置，燕尾槽與燕尾凸臺完成配合后，燕尾凸臺恰好完全經過鎖塊，這時， 鎖塊在彈簧的作用下從限位通孔伸出，其上阻擋面抵靠在燕尾凸臺的相應端面 上，完成燕尾凸臺的鎖定，從而完成磨盤和基座的組裝；拆卸磨盤時，只需用手 或者借助工具按壓鎖塊，使鎖塊完全進入限位通孔內，以解除鎖塊對燕尾凸臺的 鎖定，這樣燕尾凸臺就能順暢的從燕尾槽內移出，實現了快速拆裝磨盤，省時省 工。

附圖說明

圖1為本實用新型中的晶棒磨邊設備的結構示意圖；

圖2為本實用新型中的晶棒磨邊設備的局部剖視圖；

圖3為本實用新型中的晶棒磨邊設備的打磨組件的爆炸圖；

圖4為本實用新型中的晶棒磨邊設備的鎖定組件的結構示意圖；

圖5為本實用新型中的晶棒磨邊設備的磨盤的結構示意圖。