[實用新型]一種設于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置

有效

• 申請號: 201520953021.5
• 申請日: 2015-11-25
• 公開（公告）號: CN205173360U
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 于少鵬;邸士強;湯萍;趙東君;王新鵬;趙沙沙
• 申請（專利權）人: 綠菱電子材料（天津）有限公司
• 主分類號: F16F15/04
• 分類號: F16F15/04;F16F15/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及真空泵隔振領域，尤其涉及一種設于真空腔與真空泵 之間的阻尼塊配重隔振裝置。

背景技術

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行 抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封 閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。隨著真空應用的發展，真空泵的 種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。 隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越 寬。其中真空泵在應用于靈敏儀器時，如掃描電子顯微鏡，泵轉動產生的 振動會影響儀器的正常運行，于是，在真空泵與真空腔之間多設置阻振機 構，常規的阻尼機構的示意圖如圖2，其中真空泵(1A)通過密封機構連 接到真空室(圖中未示出)，密封機構包括連接真空泵和真空腔的金屬波 紋管(2A)及圍繞金屬波紋管設置的橡膠環(3A)，而該阻尼機構能夠吸 收較大部分的振動，但是金屬波紋管傳輸的振動，仍足以影響靈敏的儀器 的正常運作。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是克服現有技術中存在的不足，提供 一種有效提高隔振效果的設于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝 置。

本實用新型是通過以下技術方案予以實現：

一種設于真空腔與真空泵之間的阻尼塊配重隔振裝置，包括設于真空 泵頂端的基座，一端設于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一 端的穩定凸緣，設于穩定凸緣下部真空泵上的支撐托桿及設于支撐托桿與 穩定凸緣之間的阻尼器，所述穩定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述 雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管連接真空泵出口，所述阻尼器包 括兩個分別與阻尼支撐托和穩定凸緣貼合的彈性阻尼塊及設于兩個彈性 阻尼塊之間的阻尼塊配重。

本實用新型的有益效果是：

阻尼器與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于為敏 感儀器提供真空環境，保證儀器測量數據的準確性。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖面結構示意圖。

圖2是現有技術的真空泵阻尼機構的剖面結構示意圖。

圖中：1A.真空泵，2A.金屬波紋管，3A.橡膠環，2.基座，3.雙 層彈性隔膜4.穩定凸緣，5.真空腔，6.彈性阻尼塊，7.阻尼塊配重，8. 支撐托桿，9.導管，10.真空泵出口，20.氣動隔振器，21.增壓口。

具體實施方式

為了使本技術領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案， 下面結合附圖和最佳實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。

如圖所示，本實用新型包括設于真空泵頂端的基座2，一端設于基座 的雙層彈性隔膜3，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣4，設于穩定 凸緣下部真空泵上的支撐托桿8及設于支撐托桿與穩定凸緣之間的阻尼 器，所述穩定凸緣通過標準法蘭(圖中未示出)與真空腔連接，所述雙層 彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管9連接真空泵出口10，所述阻尼器包 括兩個分別與阻尼支撐托和穩定凸緣貼合的彈性阻尼塊6及設于兩個彈性 阻尼塊之間的阻尼塊配重7。

由于大氣壓作用，趨向于將真空泵壓向真空室，在基座與穩定凸緣之 間設置阻尼器，阻尼器抵抗大氣壓作用造成的真空力，支撐托桿支撐阻尼 器并與兩個彈性阻尼塊及阻尼塊配重配合起到分級阻振的作用。

雙層彈性隔膜設于基座與穩定凸緣之間，基座可以再六個維度自由振 動，從而防止帶動真空腔振動，雙層彈性隔膜中間形成的腔提供雙重密封， 雙層膜彈性隔膜之間通過導管連接正空泵，有效降低膜片之間的壓力。

阻尼器與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于為敏 感儀器提供真空環境，保證儀器測量數據的準確性。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領 域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出 若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。