[實用新型]一種低溫泵再生裝置

有效

• 申請號: 201520933132.X
• 申請日: 2015-11-20
• 公開（公告）號: CN205277750U
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 張強
• 申請（專利權）人: 和艦科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 楊帆

技術領域

本實用新型涉及低溫泵再生領域，特別涉及一種既能節省時間又能保 證操作安全的低溫泵再生裝置。

背景技術

低溫泵是一種利用低溫表面來冷凝、吸附和捕集氣體的真空獲得設 備。由于其冷凝板工作溫度較低，一般可達12K，其內部經常會吸附一些 由氣體凝結而成的固體，從而影響低溫泵的工作效率。因此在實際使用過 程中，需要定期去除氣體在低溫泵中凝結后的固態物質，即再生。氣體沖 洗再生是一種利用充入泵內的干燥氣體來使泵內環境升溫，使泵內的固態 物質氣化并排出泵體的再生方式。由于其操作簡單且安全性高而被廣泛應 用。但是整個過程大約需要耗時9-11小時才能完成，并且例如水蒸氣這 樣的一些沸點較高的氣體的固態凝結物在常溫下不能完全氣化，從而導致 氣體排出不徹底。為了縮短再生時間，通常會采用類似于熱風槍的加熱裝 置在低溫泵外部進行加熱或使用電加熱絲或電熱板在冷卻泵內部進行加 熱。但是，一方面這會因導致泵內固體迅速氣化膨脹而存在爆炸隱患，另 一方面低溫泵內的各種元件長時間在低溫狀態下工作，大多不能承受高 溫，局部的加熱會使各部件受熱不均勻，從而影響部件的使用壽命。因此， 急需提供一種既能節省時間又能保證操作安全的低溫泵再生裝置。

實用新型內容

為了克服現有技術中所存在的缺陷，本實用新型提供一種既能節省時 間又能保證操作安全的低溫泵再生裝置。

一種低溫泵再生裝置，包括壓縮氣源、流量傳感器、控制閥門、加熱 器以及繼電器，其中

壓縮氣源、控制閥門以及加熱器依次串聯設置，加熱器出口連接至低 溫泵的入口；

流量傳感器設置于壓縮氣源的出口與控制閥門之間的管路上，用于檢 測并顯示管路中壓縮氣體的流量；以及

低溫再生裝置通過繼電器控制加熱器電源的通斷。

進一步地，流量傳感器與控制閥門相通信，當流量傳感器檢測到有氣 體流過時，控制閥門自動開啟。

進一步地，加熱器上設置有溫度傳感器，用于檢測并顯示加熱器內氣 體的溫度。

進一步地，加熱器上設置有壓力傳感器，用于檢測并顯示加熱器內氣 體的壓力。

進一步地，繼電器的輸入端串聯接入流量安全開關，流量安全開關與 流量傳感器通信，其中，當管路中無流量時，流量安全開關自動斷開，使 加熱器停止加熱。

進一步地，繼電器的輸入端串聯接入溫度安全開關，溫度安全開關與 溫度傳感器通信，其中，當加熱器中氣體溫度超出溫度閾值時，溫度安全 開關自動斷開，使加熱器停止加熱。

進一步地，繼電器的輸入端串聯接入壓力安全開關，壓力安全開關與 壓力傳感器通信，其中，當加熱器中氣體壓力超出壓力閾值時，壓力安全 開關自動斷開，使加熱器停止加熱。

一種低溫泵再生方法，包含以下步驟：

步驟一：打開壓縮氣源；

步驟二：流量傳感器感測到氣體流過，控制閥門自動開啟，氣體流入 加熱器；

步驟三：通過繼電器接通加熱器電源，將加熱器內部的氣體加熱至 65-75℃；

步驟四：加熱后的氣體連續通入低溫泵使其由工作溫度快速升至室 溫；

步驟五：保持所述氣體持續通入，使低溫泵內部吸附的物質氣化并持 續排出；以及

步驟六：待低溫泵內部吸附的物質排放干凈后，關閉壓縮氣源和加熱 器，控制閥門自動關閉，將低溫泵抽至真空并降至工作溫度，低溫泵再生 結束。

進一步地，方法還包括通過手動開啟或關閉控制閥門以控制所述氣體 的流通。

進一步地，方法還包括：

當流量傳感器感測到無流量時，流量保護開關自動斷開，加熱器停止 加熱；

當溫度傳感器感測到加熱器中氣體溫度超出溫度閾值時，溫度保護開 關自動斷開，加熱器停止加熱；以及

當壓力傳感器感測到加熱器中氣體壓力超出壓力閾值時，壓力保護開 關自動斷開，加熱器停止加熱。

由于采用以上技術方案，本實用新型與現有技術相比具有如下優點：

1.本實用新型的低溫泵再生裝置采用持續通入的加熱的氣體對泵體 進行加熱，有效提高熱交換效率，縮短了再生時間；

2.加熱的氣體溫度高于室溫，能夠使泵內的物質氣化更完全，再生更 徹底；