[實用新型]一種鍍膜機的擴散泵主閥門

有效

• 申請號: 201520898004.6
• 申請日: 2015-11-12
• 公開（公告）號: CN205136761U
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 汕頭市嘉信包裝材料有限公司
• 主分類號: F16K31/12
• 分類號: F16K31/12;F16K31/52
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230
• 代理人: 林天普;丁德軒

1.一種鍍膜機的擴散泵主閥門，包括安裝在真空腔體中的擴散泵、蓋合在擴散泵開口處的閥蓋，以及安裝在真空腔體外面的閥蓋驅動機構，閥蓋驅動機構的動力輸出端伸入到真空腔體中并與閥蓋連接，其特征是：所述閥蓋驅動機構包括旋轉機構、轉軸、第一連桿和第二連桿；轉軸處于所述真空腔體的上部，轉軸的兩端分別可轉動安裝在真空腔體的側壁上；旋轉機構安裝在真空腔體的外側壁上，旋轉機構的動力輸出端與轉軸的一端傳動連接；第一連桿的上端與轉軸的中部固定連接，第一連桿的下端與第二連桿的上端鉸接，第二連桿的下端與閥蓋鉸接。

2.如權利要求1所述的鍍膜機的擴散泵主閥門，其特征是：還包括兩個密封套，所述轉軸的兩端分別通過密封套可轉動安裝在所述真空腔體的側壁上。

3.如權利要求1或2所述的鍍膜機的擴散泵主閥門，其特征是：所述旋轉機構包括氣缸和推桿，氣缸安裝在所述真空腔體的外側壁上，推桿的一端與氣缸連接，推桿的另一端與轉軸連接。