[實用新型]一種用于改善區(qū)熔硅單晶成晶的新型保溫筒有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520812346.1 | 申請日: | 2015-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN205035489U | 公開(公告)日: | 2016-02-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 婁中士;涂頌昊;郝大維;楊旭洲;劉琨;劉錚;王彥君;由佰玲;張雪囡 | 申請(專利權(quán))人: | 天津市環(huán)歐半導體材料技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C30B13/16 | 分類號: | C30B13/16;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津濱??凭曋R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211 | 代理人: | 陳雅潔 |
| 地址: | 300384 天津市濱海新區(qū)*** | 國省代碼: | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 改善 區(qū)熔硅單晶成晶 新型 保溫 | ||
1.一種用于改善區(qū)熔硅單晶成晶的新型保溫筒,其特征在于:包括保溫筒本體(1),所述本體(1)為一直徑從下到上逐漸變小的錐形筒體,所述筒體的壁厚為1-5mm,所述筒體的上口內(nèi)壁直徑為200-340mm,下口內(nèi)壁直徑為220-450mm,所述筒體的高度為20-200mm,所述筒體底端的外側(cè)面設(shè)置有環(huán)形的冷卻水路(2),所述冷卻水路上設(shè)有進水口(3)和出水口(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于改善區(qū)熔硅單晶成晶的新型保溫筒,其特征在于:所述筒體相對水平面的傾斜角度為50-85度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于改善區(qū)熔硅單晶成晶的新型保溫筒,其特征在于:所述本體(1)的材質(zhì)為金屬。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于改善區(qū)熔硅單晶成晶的新型保溫筒,其特征在于:所述本體(1)的材質(zhì)為銅或鎢或鉬。
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