[實用新型]用于半導體等離子體設備中的水平調整裝置有效
| 申請號： | 201520805580.1 | 申請日： | 2015-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN205081088U | 公開（公告）日： | 2016-03-09 |
| 發明（設計）人： | 王燚;范川;周仁;劉憶軍;吳夢瑤 | 申請（專利權）人： | 沈陽拓荊科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李緒巖 |
| 地址： | 110179 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 半導體 等離子體 設備 中的 水平 調整 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.用于半導體等離子體設備中的水平調整裝置，其特征在于：包括三角水冷塊和三角支撐座，兩者大小和形狀相同，并通過鎖緊螺母和調整螺栓連接，所述的鎖緊螺母和調整螺栓與三角水冷塊和三角支撐座接觸的面為球面。
2.如權利要求1所述的用于半導體等離子體設備中的水平調整裝置，其特征在于：所述的鎖緊螺母和調整螺栓固定在三角水冷塊三個頂點處。
3.用于半導體等離子體設備中的水平調整裝置，其特征在于：所述三角支撐座通過內壁螺紋與調整螺栓連接。
4.用于半導體等離子體設備中的水平調整裝置，其特征在于：所述調整螺栓的螺紋調整精度為0.5mm。
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