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[實用新型]一種多晶硅鑄錠裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201520797818.0 申請日: 2015-10-15
公開(公告)號: CN205099786U 公開(公告)日: 2016-03-23
發(fā)明(設(shè)計)人: 冷金標(biāo);周慧敏;龍昭欽;任一鳴;徐志群 申請(專利權(quán))人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分類號: C30B28/06 分類號: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 代理人: 趙青朵
地址: 334100 江西*** 國省代碼: 江西;36
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 多晶 鑄錠 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種多晶硅鑄錠裝置,包括石英坩堝和設(shè)置在所述石英坩堝外周的若干塊復(fù)合護板;

每塊所述復(fù)合護板包括石墨層和設(shè)置在石墨層上的金屬隔離層;所述金屬隔離層與石英坩堝接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述金屬隔離層為鉬層或鎢層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述金屬隔離層為鉬層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述金屬隔離層的厚度為3~10mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述若干塊復(fù)合護板之間首尾依次連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述若干塊復(fù)合護板之間通過石墨螺栓連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,垂直于每塊所述復(fù)合護板的厚度方向,復(fù)合護板的邊緣設(shè)有若干個護板孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,以石英坩堝開口方向為上,每塊所述復(fù)合護板的上端沿水平方向設(shè)有三個開口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述三個開口的高度和每塊所述復(fù)合護板的高度比為38~42:38~42:38~42:605~615。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多晶硅鑄錠裝置,其特征在于,所述三個開口的長度比為58~62:38~42:48~52。

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