[實用新型]用于保護芯片選擇性部分的剛性掩模

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520715062.0
• 申請日: 2015-09-15
• 公開（公告）號: CN205313517U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·布拉曼蒂
• 申請（專利權(quán)）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: C12M1/00
• 分類號: C12M1/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種剛性掩模(10)，其特征在于，用于在用于生化反應的芯片(1)的化學/物理處理期間保護所述芯片(1)的選擇性部分，其中所述芯片包括多個井(5)，所述生化反應在所述井處發(fā)生，所述井具有底部(17)并且根據(jù)圖案進行布置，

所述剛性掩模(10)此外在至少第一方向(Z)上相對于所述芯片(1)是活動的，并且所述剛性掩模包括：

-支撐部分(12)；以及

-多個支腿(14)，每個支腿均設(shè)置有剛性芯柱(14a)和板(14b)，所述剛性芯柱具有固定至所述支撐部分的第一端以及固定至所述板的第二端，

其中所述支腿(14)根據(jù)所述圖案而固定至所述支撐部分(12)并且以以下方式配置：當每個所述支腿(14)插入在對應的井(5)中時，相應的板(14b)至少部分地覆蓋所述井的底部，從而在所述化學/物理處理期間提供保護。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剛性掩模，其特征在于，所述支撐部分(12)和所述多個支腿(14)由金屬材料形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的剛性掩模，其特征在于，所述支撐部分(12)至少包括由鐵磁金屬材料形成的區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剛性掩模，其特征在于，所述第一方向平行于(Z)軸延伸，(Z)軸與所述井(5)的相應底部(17)的所在平面(XY)正交。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剛性掩模，其特征在于，每個板(14b)具有在所述井(5)的相應底部(17)的所在平面(XY)上測得的尺寸，所述尺寸等于或小于所述井(5)的底部在所在平面(XY)上測得的尺寸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剛性掩模，其特征在于，相應井(5)的所述底部中的每一個在其所在平面(XY)上均具有從帶有相應直徑的圓形和多邊形之間選出的形狀，并且其中所述板(14b)中的每一個在所述所在平面(XY)上均具有從以下形狀中選出的形狀：具有等于或小于相應底部(17)的直徑的直徑的圓形；具有等于或小于相應底部的直徑的直徑的多邊形；以及具有等于或小于相應底部的直徑的長軸的橢圓形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剛性掩模，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)(12)以以下方式成形：當每個支腿(14)插入在對應的井(5)中時，所述井(5)是能夠流體進入的。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的剛性掩模，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)(12)設(shè)置有至少一個貫通開口(15)，使得所述井(5)通過所述貫通開口是能夠流體進入的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的剛性掩模，其特征在于，每個井(5)的所述底部(17)具有根據(jù)溝槽路徑而產(chǎn)生的溝槽(24)，

并且其中所述板(14b)包括伸出區(qū)域(29)，所述伸出區(qū)域以與所述溝槽路徑一致的方式產(chǎn)生，并且所述伸出區(qū)域以當相應板(14b)至少部分地覆蓋相應井(5)的底部(17)時穿入到所述溝槽(24)的方式配置。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的剛性掩模，其特征在于，還包括多個對準標記(19)，所述多個對準標記布置在所述支撐結(jié)構(gòu)(12)與相應支腿(14)之間，并且所述多個對準標記在所述所在平面(XY)上均具有使得所述對準標記(19)能插入在相應的井(5)中的空間延伸部以及比相應的井的入口區(qū)段的面積更小的相應面積。

11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的剛性掩模，其特征在于，所述剛性芯柱(14a)在所述所在平面(XY)上具有小于相應的井(5)在所述所在平面(XY)上的對應尺寸的尺寸。