[實(shí)用新型]一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520694115.5 | 申請日: | 2015-09-09 |
| 公開(公告)號: | CN204982053U | 公開(公告)日: | 2016-01-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 韋建敏;吳梅;趙興文;張曉蓓;張小波 | 申請(專利權(quán))人: | 成都虹華環(huán)??萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 主分類號: | C23F1/46 | 分類號: | C23F1/46;C25B9/00 |
| 代理公司: | 成都金英專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
| 地址: | 610000 四*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 具有 尾氣 處理 功能 酸性 蝕刻 廢液 循環(huán) 再生 系統(tǒng) | ||
1.一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:包括蝕刻液處理系統(tǒng)、再生液循環(huán)系統(tǒng)、配液系統(tǒng)和氯氣回收系統(tǒng),蝕刻液處理系統(tǒng)包括蝕刻生產(chǎn)線(1)、母液儲存罐(2)、電解槽和溶解吸收系統(tǒng)(6),電解槽包括陰極槽(3)、膜(4)和陽極槽(5),母液儲存罐(2)、陰極槽(3)、陽極槽(5)、溶解吸收系統(tǒng)(6)依次連通,蝕刻生產(chǎn)線(1)分別與母液儲存罐(2)和溶解吸收系統(tǒng)(6)連通,溶解吸收系統(tǒng)(6)與蝕刻生產(chǎn)線(1)連通;
氯氣回收系統(tǒng)包括洗氣系統(tǒng)(7)和尾氣處理系統(tǒng)(8),陽極槽(5)、洗氣系統(tǒng)(7)和尾氣處理系統(tǒng)(8)依次連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的膜(4)為隔膜、陽離子膜或陰離子膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極槽(3)通過電解得到電解銅(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的電解槽內(nèi)設(shè)有離子濃度檢測裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的蝕刻液處理系統(tǒng)、再生液循環(huán)系統(tǒng)、配液系統(tǒng)和氯氣回收系統(tǒng)都使用耐酸、耐堿、耐腐蝕的材料制成。
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