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[實(shí)用新型]一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201520694115.5 申請日: 2015-09-09
公開(公告)號: CN204982053U 公開(公告)日: 2016-01-20
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 韋建敏;吳梅;趙興文;張曉蓓;張小波 申請(專利權(quán))人: 成都虹華環(huán)??萍脊煞萦邢薰?/a>
主分類號: C23F1/46 分類號: C23F1/46;C25B9/00
代理公司: 成都金英專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51218 代理人: 袁英
地址: 610000 四*** 國省代碼: 四川;51
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 具有 尾氣 處理 功能 酸性 蝕刻 廢液 循環(huán) 再生 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:

1.一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:包括蝕刻液處理系統(tǒng)、再生液循環(huán)系統(tǒng)、配液系統(tǒng)和氯氣回收系統(tǒng),蝕刻液處理系統(tǒng)包括蝕刻生產(chǎn)線(1)、母液儲存罐(2)、電解槽和溶解吸收系統(tǒng)(6),電解槽包括陰極槽(3)、膜(4)和陽極槽(5),母液儲存罐(2)、陰極槽(3)、陽極槽(5)、溶解吸收系統(tǒng)(6)依次連通,蝕刻生產(chǎn)線(1)分別與母液儲存罐(2)和溶解吸收系統(tǒng)(6)連通,溶解吸收系統(tǒng)(6)與蝕刻生產(chǎn)線(1)連通;

氯氣回收系統(tǒng)包括洗氣系統(tǒng)(7)和尾氣處理系統(tǒng)(8),陽極槽(5)、洗氣系統(tǒng)(7)和尾氣處理系統(tǒng)(8)依次連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的膜(4)為隔膜、陽離子膜或陰離子膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的陰極槽(3)通過電解得到電解銅(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的電解槽內(nèi)設(shè)有離子濃度檢測裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環(huán)再生系統(tǒng),其特征在于:所述的蝕刻液處理系統(tǒng)、再生液循環(huán)系統(tǒng)、配液系統(tǒng)和氯氣回收系統(tǒng)都使用耐酸、耐堿、耐腐蝕的材料制成。

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