[實(shí)用新型]成像裝置以及讀取晶圓激光標(biāo)記的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520692309.1
• 申請(qǐng)日: 2015-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204885101U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段曉博;于建姝;牛剛;林立平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種成像裝置，其特征在于，包括支架、放大鏡、平面鏡以及承載框，所述平面鏡和所述放大鏡由上到下依次活動(dòng)連接在所述支架上，所述承載框位于所述放大鏡的下方，所述承載框上設(shè)置有若干用于支撐的凸桿。

2.如權(quán)利要求1所述的成像裝置，其特征在于，所述承載框?yàn)樘菪谓Y(jié)構(gòu)，體型結(jié)構(gòu)的兩側(cè)邊上設(shè)置有若干所述凸桿。

3.如權(quán)利要求2所述的成像裝置，其特征在于，所述承載框還包括固定框，所述固定框與所述承載框的下底邊相連，所述承載框與地面之間成一傾斜角度。

4.如權(quán)利要求3所述的成像裝置，其特征在于，所述固定框與所述承載框的下底邊形成三角形結(jié)構(gòu)。

5.如權(quán)利要求3所述的成像裝置，其特征在于，所述固定框與所述支架固定連接。

6.如權(quán)利要求2所述的成像裝置，其特征在于，所述承載框兩側(cè)對(duì)應(yīng)形成有等間距的20個(gè)-30個(gè)凸桿。

7.如權(quán)利要求6所述的成像裝置，其特征在于，相鄰的所述凸桿之間的間距為5.0mm～7.0mm。

8.如權(quán)利要求6所述的成像裝置，其特征在于，每個(gè)所述凸桿對(duì)應(yīng)的所述承載框的側(cè)邊上形成有標(biāo)號(hào)。

9.如權(quán)利要求2-8中任意一項(xiàng)所述的成像裝置，其特征在于，所述梯形結(jié)構(gòu)下底邊的寬度小于299mm，所述梯形結(jié)構(gòu)的上底邊的寬度為10mm-100mm；或所述梯形結(jié)構(gòu)下底邊的寬度小于199mm，所述梯形結(jié)構(gòu)的上底邊的寬度為10mm-100mm。

10.如權(quán)利要求1所述的成像裝置，其特征在于，所述成像裝置還包括一日照燈，所述日照燈連接在所述放大鏡和所述平面鏡之間的所述支架上。

11.如權(quán)利要求1所述的成像裝置，其特征在于，所述放大鏡的放大倍數(shù)為10-20倍。

12.一種讀取晶圓激光標(biāo)記的裝置，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)所述的成像裝置，所述承載框上設(shè)置有若干用于支撐所述晶圓的凸桿，所述晶圓的激光標(biāo)記經(jīng)過(guò)所述放大鏡放大并成像在所述平面鏡上。