[實(shí)用新型]一種離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520692195.0
• 申請(qǐng)日: 2015-09-08
• 公開（公告）號(hào): CN205079744U
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施麗敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海現(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 陳淑章

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種基于斐索干涉儀的離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

光學(xué)元件的傳統(tǒng)檢測(cè)方法與技術(shù)已沿用了數(shù)十年。光學(xué)檢測(cè)涉及被測(cè)元件材料、口徑、種類以及測(cè)試技術(shù)、儀器和設(shè)備等。被測(cè)元件的種類繁多，包括有平行平板、球面、非球面、自由曲面、衍射光柵、錐鏡、柱面透鏡等，非球面中有特殊的非球面如拋物面、橢球面、雙曲面和除此以外的其它非球面。光學(xué)檢測(cè)中常用的主要儀器可分為干涉儀類、表面輪廓儀類、MTF測(cè)試儀類、精密球徑儀類、焦距與偏心測(cè)試儀器類及其它儀器等。

國內(nèi)外都在研制和發(fā)展各自的先進(jìn)儀器。國內(nèi)以南京理工大學(xué)和成都太科公司為代表的干涉儀制造廠家，各類數(shù)字式干涉儀的產(chǎn)品口徑有Φ25mm～Φ600mm；進(jìn)口以美國Zygo公司為代表的從口徑4″～32″的各類干涉儀；Zygo公司以3D干涉顯微鏡為基本原理發(fā)展的非接觸式表面輪廓儀，從早期的Maxim3D5700到現(xiàn)代最新的ZemapperSystem等；英國Tayloy-Hobson觸針式輪廓儀；滿足實(shí)際需求的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、4D干涉儀等。然而，在光學(xué)檢測(cè)儀器和技術(shù)應(yīng)用上，仍存在很多問題和不足，比如使用輪廓儀無法得到整個(gè)面的面形精度，使用平面鏡測(cè)量則受限于平面鏡的大小。

目前，尚未有關(guān)于離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于斐索干涉儀的離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置，該裝置能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量離軸拋物面鏡的面形精度。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置，該裝置由斐索干涉儀、標(biāo)準(zhǔn)球面鏡、輔助凹球面柱、基座盤、五維調(diào)整架、標(biāo)準(zhǔn)平面鏡、二維調(diào)整架、承托固定底板、第一底座以及第二底座組成；

所述斐索干涉儀上安裝有所述標(biāo)準(zhǔn)球面鏡，所述標(biāo)準(zhǔn)球面鏡是所述斐索干涉儀的光束輸出窗口；

所述基座盤位于所述斐索干涉儀的下方，所述基座盤上設(shè)有待測(cè)離軸拋物面鏡和輔助凹球面柱；

所述基座盤設(shè)于所述五維調(diào)整架頂面；

所述標(biāo)準(zhǔn)平面鏡設(shè)于所述二維調(diào)整架的底面；

所述二維調(diào)整架位于所述待測(cè)離軸拋物面鏡的上方；

所述五維調(diào)整架固定于所述承托固定底板上；

所述承托固定板設(shè)于所述第二底座上；

所述斐索干涉儀、二維調(diào)整架設(shè)于所述第一底座上。

所述基座盤呈圓形，所述輔助凹球面柱設(shè)于所述基座盤的中心處，所述待測(cè)離軸拋物面鏡在所述基座盤的四周呈中心對(duì)稱分布。

所述輔助凹球面柱的凹球面曲率半徑與所述待測(cè)離軸拋物面鏡的焦距相等。

所述凹球面的最低點(diǎn)與所述待測(cè)離軸拋物面鏡的頂點(diǎn)重合。

所述輔助凹球面柱直徑為20-50mm。

所述二維調(diào)整架具有Tip和Tilt二維調(diào)整。

所述五維調(diào)整架具有X、Y、Z、Tip和Tilt五維調(diào)整。

所述離軸拋物面鏡為凹面鏡。

本實(shí)用新型的有益效果是通過使用不同標(biāo)準(zhǔn)球面鏡來測(cè)量不同尺寸的離軸拋物面鏡，擴(kuò)大了測(cè)量范圍，并且能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量離軸拋物面鏡的面形精度。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置的左視圖；

圖3為本實(shí)用新型離軸拋物面鏡面形精度的檢測(cè)裝置的光路圖；

圖4為標(biāo)準(zhǔn)平面鏡及其二維調(diào)整架的仰視圖；

圖5為待測(cè)離軸拋物面鏡的三視圖；其中，a為正視圖，b為左視圖，c為俯視圖；

圖6為基座盤包含輔助凹球面柱與待測(cè)離軸拋物面鏡的俯視圖及剖面圖。

圖中：1—斐索干涉儀，2—標(biāo)準(zhǔn)球面鏡，3—待測(cè)離軸拋物面鏡，4—輔助凹球面柱，5—標(biāo)準(zhǔn)平面鏡，6—二維調(diào)整架，7—五維調(diào)整架，8—基座盤，9—承托固定底板，10—第一底座，11—第二底座；

100—斐索干涉儀發(fā)出的平行球面單色光，200—經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)球面鏡透射的球面光線，300—經(jīng)輔助凹球面柱反射的光線，400—經(jīng)待測(cè)離軸拋物面鏡反射的平行光線，500—經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)平面鏡再次反射回的平行光線，600—經(jīng)待測(cè)離軸拋物面鏡再次反射匯聚的光線，700—經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)球面鏡折射回干涉儀的光線；

A—標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的內(nèi)反射面，A’—標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的外表面，B—待測(cè)離軸拋物面鏡，C—輔助凹球面鏡的表面，O—輔助凹球面的中心點(diǎn)(拋物面頂點(diǎn))。

具體實(shí)施方式