[實用新型]等離子體反應腔室用帶磁鐵環的直冷陰極襯套

有效

• 申請號: 201520681340.5
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204885081U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 游利;馮昌延
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所 32219
• 代理人: 陸平

1.等離子體反應腔室用帶磁鐵環的直冷陰極襯套，包括襯套主體（1），其特征在于：所述的襯套主體（1）為四段階梯軸結構，階梯軸的軸心設置有通孔，襯套主體（1）的左端第一段軸為大端，第一段軸左端面設置有數個繞圓周均布的水道接頭安裝槽（104），每個水道接頭安裝槽（104）旁均設置有與襯套主體（1）內壁相通的冷卻水道（101），每個水道接頭安裝槽（104）均連接有水道接頭（4），第一段軸右端面設置有密封圈安裝槽A（103），密封圈安裝槽A（103）內安裝有密封圈；襯套主體（1）的大端向右依次設置有的第二段軸、第三段軸、第四段軸，其中第四段軸為小端，第二段軸與第四段軸外徑相同，第三段軸的外徑大于第二段軸的外徑且小于第一段軸的外徑，第三段軸的中部外圈設置有溝槽（102），溝槽（102）中部設置有鋁圈（201），鋁圈（201）的中部設置有凸臺，凸臺兩側與溝槽（102）之間均設置有數個繞圓周均布的釹鐵硼永久磁鐵（2），凸臺及兩側釹鐵硼永久磁鐵（2）的外圈設置有蓋板（3），蓋板（3）由蓋板A（301）和蓋板B（302）拼合而成。

2.根據權利要求1所述的等離子體反應腔室用帶磁鐵環的直冷陰極襯套，其特征在于：所述的蓋板（3）外徑等于襯套主體（1）的第三段軸外徑。

3.根據權利要求1所述的等離子體反應腔室用帶磁鐵環的直冷陰極襯套，其特征在于：所述的水道接頭（4）包括接頭主體（401），接頭主體（401）為兩段階梯軸結構，階梯軸的軸心設置有螺紋孔（403），螺紋孔（403）內固定有冷卻水管；接頭主體（401）的左端為小端，接頭主體（401）的左端面上設置有密封圈安裝槽B（402），密封圈安裝槽B（402）內安裝有密封圈。