[實用新型]銅氧化膜厚度測量儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520680862.3
• 申請日: 2015-09-02
• 公開（公告）號: CN204964438U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設計）人: 喻暉;馮永春;曹鐘樑
• 申請（專利權）人: 武漢康捷科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: G01N27/26
• 分類號: G01N27/26;G01B21/08
• 代理公司: 北京市金棟律師事務所 11425
• 代理人: 吳小旭

1.銅氧化膜厚度測量儀，包括電解槽，所述電解槽上方開設陽極接口和陰極接口，所述電解槽內設置電解液，其特征在于：還包括信號控制模塊，所述信號控制模塊包括恒定電流輸出模塊、電壓采樣模塊、處理模塊和通信模塊，所述恒定電流輸出模塊、電壓采樣模塊、通信模塊均連接至所述處理模塊，所述恒定電流輸出模塊連接所述陽極接口、所述陰極接口，所述陰極接口、所述陽極接口均連接至所述電壓采樣模塊，所述通信模塊用于連接計算機處理系統(tǒng)。

2.根據(jù)權利要求1所述的銅氧化膜厚度測量儀，其特征在于：還包括電位傳感器，所述電位傳感器設置在所述陽極接口上。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的銅氧化膜厚度測量儀，其特征在于：還包括計算機處理系統(tǒng)，所述通信模塊通過RS232串口連接至所述計算機處理系統(tǒng)。

4.根據(jù)權利要求3所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：所述陽極接口連接惰性金屬，所述惰性金屬插入電解槽，惰性金屬的下端浸入所述電解液中，所述陰極接口用于連接試樣。

5.根據(jù)權利要求4所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：在所述陰極接口安裝夾具。

6.根據(jù)權利要求4或5所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：所述電解槽的頂部設置試樣固定筒，所述固定筒上開設長條形槽口和圓形槽口，所述固定筒的軸線方向與所述惰性金屬的長度方向平行。

7.根據(jù)權利要求6所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：所述電解槽的一個或多個側面為透明或半透明，所述透明或半透明側面設置刻度。

8.根據(jù)權利要求7所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：所述電解液的高度不小于101.6毫米。

9.根據(jù)權利要求7或8所述的銅氧化膜厚度測量儀器，其特征在于：所述惰性金屬為鉑絲。