[實用新型]多線切割機

有效

• 申請號: 201520618616.5
• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN204869294U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 陳嘉豪;耿榮軍;馮加保;陳輝
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司;深圳市拓日新能源科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

技術領域

本實用新型涉及切割設備領域，尤其是一種多線切割機。

背景技術

多線切割是切割硅片非常有效的方法之一。多線切割機以其極高的生產效率和出片率，所切硅片具有彎曲度小、翹曲度小、平行度好、總厚度公差(TTV)離散性小、刃口切割損耗小、表面損傷層淺、硅片表面粗糙度小等特點；其切割材料涵蓋各類半導體材料，如硅、鍺、鈮酸鋰、砷化鎵、磷化銦、人造寶石、碳化硅等，因此多線切割技術的應用也越來越廣泛。

多線切割中必須使用一種具有流動性的混合研磨劑-切割砂漿(以下簡稱砂漿)。實際切割過程中，砂漿被往復運動的鋼線帶到切割區，被帶入的砂漿決定硅片的切割質量；而鋼線所帶砂漿中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是決定切割材料成品片表面光潔程度和切割能力的關鍵。若碳化硅微粉的粒型規則，切出來的成品片表面光潔度就會很好；碳化硅微粉的粒度分布均勻，會提高切割機的切割能力。

現有的多線切割機，包括切割箱體、砂漿桶、熱交換器、金屬線，砂漿桶與熱交換器的進口之間通過第一砂漿管連通，熱交換器的出口連接有第二砂漿管，所述第一砂漿管上設置有第一砂漿泵，所述切割箱體內設置有兩根互相平行的線輥，線輥表面設置有多個環形線槽，金屬線設置在環形線槽內并先后繞過兩個線輥繃緊，所述第二砂漿管的末端連接有用于將砂漿附著到金屬線表面的砂漿供給裝置，切割箱底部設置有砂漿收集口，砂漿收集口上連接有砂漿收集管，砂漿收集管的末端與砂漿桶相連，在切割時，砂漿桶內的砂漿在砂漿泵的作用下先進入熱交換器中進行換熱使其砂漿的溫度達到一定的溫度，然后砂漿沿第二砂漿管進入砂漿供給裝置，砂漿供給裝置將砂漿附著到金屬線表面以便切割硅棒，切割硅棒后產生的廢砂漿通過切割箱底部的砂漿收集孔沿砂漿收集孔流回砂漿桶以便再次利用，由于金屬線在切割硅棒的過程中會產生大量的廢砂漿，這些廢砂漿中含有的雜質主要為切割硅棒時產生的硅粉顆粒，砂漿中含有的這些硅粉顆粒較多就會對嚴重影響切割硅片的質量，因此，必須保證砂漿桶內的硅粉含量不能超過一定的比例，目前，為了避免砂漿桶內的硅粉含量超標通常都是采用更換砂漿桶內砂漿的方法，具體的，現有的砂漿桶都是統一規格的，其內盛裝的砂漿一般為270公斤，當多線切割機切割完一刀以后，產生的廢砂漿被回收到砂漿桶內，此時，砂漿桶內硅粉的含量已達到臨界線，為此利用砂漿泵將砂漿桶內的砂漿抽走80公斤，然后再補入80公斤新的砂漿，便可以降低砂漿內硅粉的百分比含量，之后切割機再進行第二刀的切割，當多線切割機切割完第二刀以后，砂漿桶內的硅粉已嚴重超標無法再重復使用，此時就必須更換新的砂漿桶，再重復上述步驟，由此可以看出，現有的多線切割機切割兩刀需消耗350公斤的砂漿，砂漿的消耗量巨大，導致硅片的切割成本較高，而且切割兩刀后的廢砂漿內還含有大量的可以利用的砂漿，但是由于現有的多線切割機沒有相應的分離設備，無法分離砂漿中含有的硅粉雜質，因此，為了保證硅片的切割質量，只能將廢砂漿排出，造成浪費。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能夠降低硅片切割成本的多線切割機。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:該多線切割機，包括切割箱體、砂漿桶、熱交換器、金屬線，砂漿桶與熱交換器的進口之間通過第一砂漿管連通，熱交換器的出口連接有第二砂漿管，所述第一砂漿管上設置有第一砂漿泵，所述切割箱體內設置有兩根互相平行的線輥，線輥表面設置有多個環形線槽，金屬線設置在環形線槽內并先后繞過兩個線輥繃緊，所述第二砂漿管的末端連接有用于將砂漿附著到金屬線表面的砂漿供給裝置，切割箱底部設置有砂漿收集口，砂漿收集口上連接有砂漿收集管，砂漿收集管的末端與砂漿桶相連，所述第二砂漿管上設置有第一分離管，第一分離管的末端連接有用于分離砂漿和硅粉的旋流器，所述旋流器的用于排出砂漿的出口與砂漿桶之間通過第二分離管連通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口連接有第三分離管，第三分離管的末端連接有硅粉雜質收集桶。

進一步的是，所述砂漿桶上連接有砂漿補充管與砂漿排放管，所述砂漿補充管的末端連接有砂漿補充桶，所述砂漿補充管上設置有第二砂漿泵，砂漿排放管上設置有第三砂漿泵。