[實(shí)用新型]上排氣熱場(chǎng)單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520596641.8
• 申請(qǐng)日: 2015-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN204849115U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐由兵;曾世銘;高一凡;李英濤;賈瑞峰;鄒凱;高兆伍;劉小明;陳家俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 包頭市山晟新能源有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C30B15/14
• 分類號(hào): C30B15/14
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 姜燕;王衛(wèi)忠

1.一種上排氣熱場(chǎng)單晶爐，所述上排氣熱場(chǎng)單晶爐包括主爐室、導(dǎo)流筒、石英坩堝、上保溫筒和抽空口，其特征在于，所述上保溫筒上開設(shè)有多個(gè)在所述上保溫筒的圓周上均勻分布的孔口，經(jīng)所述孔口形成所述上排氣熱場(chǎng)單晶爐的上排氣通道，所述上排氣通道經(jīng)所述導(dǎo)流筒、所述石英坩堝內(nèi)的液面、向上經(jīng)過所述孔口、向下經(jīng)過所述主爐室的內(nèi)壁至所述抽空口。

2.如權(quán)利要求1所述的上排氣熱場(chǎng)單晶爐，其特征在于，所述孔口開設(shè)于所述上保溫筒的頂端與所述上排氣熱場(chǎng)單晶爐的下保溫蓋之間。

3.如權(quán)利要求1所述的上排氣熱場(chǎng)單晶爐，其特征在于，所述上保溫筒的外壁上包裹有石墨碳?xì)郑鍪細(xì)稚吓c所述孔口相對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)有開槽。

4.如權(quán)利要求2所述的上排氣熱場(chǎng)單晶爐，其特征在于，所述孔口的數(shù)量為4-8個(gè)。

5.如權(quán)利要求4所述的上排氣熱場(chǎng)單晶爐，其特征在于，所述孔口的數(shù)量為6個(gè)。