[實用新型]一種正八邊形硅片制絨花籃有效
| 申請號: | 201520581408.2 | 申請日: | 2015-08-05 |
| 公開(公告)號: | CN204966462U | 公開(公告)日: | 2016-01-13 |
| 發明(設計)人: | 何晨旭;孔祥照;朱潔;朱姚培 | 申請(專利權)人: | 江蘇榮馬新能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 張惠忠 |
| 地址: | 223700 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 八邊形 硅片 絨花 | ||
1.一種正八邊形硅片制絨花籃,包括花籃體,其特征在于:所述花籃體的外形呈五棱柱狀,由正八棱柱剖分而成,包括兩平行側板(1)和連接兩側板的五根插片桿(2)。
2.根據權利要求1所述的正八邊形硅片制絨花籃,其特征在于:所述插片桿(2)包括設置在花籃體端面兩側的兩根第一插片桿(21)、設置在花籃體中部的兩根第二插片桿(22)以及設置在花籃體底部的第三插片桿(23);所述第一插片桿(21)外側帶有呈直線排布的外齒(41)。
3.根據權利要求2所述的正八邊形硅片制絨花籃,其特征在于:所述第二插片桿(22)以及第三插片桿(23)內均設有齒槽(3),齒槽(3)中均勻的間隔設置有內齒(42)。
4.根據權利要求3所述的正八邊形硅片制絨花籃,其特征在于:所述齒槽(3)截面為三角形,齒槽(3)槽底的α角角度范圍在135°~155°之間。
5.根據權利要求4所述的正八邊形硅片制絨花籃,其特征在于:齒槽(3)槽底的α角角度為135°。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





