[實用新型]一種低溫杜瓦腔室有效
| 申請號: | 201520581346.5 | 申請日: | 2015-08-05 |
| 公開(公告)號: | CN204943012U | 公開(公告)日: | 2016-01-06 |
| 發明(設計)人: | 郭方準 | 申請(專利權)人: | 大連齊維科技發展有限公司 |
| 主分類號: | F17C1/00 | 分類號: | F17C1/00;F17C13/04;F17C13/00 |
| 代理公司: | 大連博晟專利代理事務所(特殊普通合伙) 21236 | 代理人: | 于忠晶 |
| 地址: | 116000 遼寧省*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 低溫 杜瓦腔室 | ||
1.一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:真空機構包括腔室外筒(24)的上端連接上法蘭(1),腔室外筒(24)的下端連接腔室端蓋(27),腔室端蓋(27)的下部連接探入外筒(31),探入外筒(31)的下端連接真空密封頂(38),探入實驗管(34)通過導向環(17)插裝于真空機構內,探入實驗管(34)的外部通過探入液氦筒(33)套裝有液氦機構,液氦機構的外部通過探入真空屏蔽筒(32)套裝有液氮機構,液氮機構的外部通過探入真空屏蔽筒(32)套裝于真空機構內。
2.根據權利要求1所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述真空機構包括腔室外筒(24)的上端連接腔室上密封法蘭(14),腔室上密封法蘭(14)的上部連接上法蘭(1),上法蘭(1)上分別連接安全閥(7)、角閥(6)、密封法蘭(13),腔室外筒(24)的下端連接腔室下密封法蘭(26),腔室下密封法蘭(26)的下部連接腔室端蓋(27),真空密封頂(38)的下端連接聚四氟乙烯錐頂(39)。
3.根據權利要求1所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述液氮機構包括套裝于腔室外筒(24)內的液氮屏蔽外筒(22),液氮屏蔽外筒(22)內套裝有液氮屏蔽內筒(21),液氮屏蔽內筒(21)的上、下兩端分別通過液氮屏蔽上蓋(15)、液氮屏蔽下蓋(23)與液氮屏蔽外筒(22)相連,液氮屏蔽下蓋(23)下部連接屏蔽下蓋(25),液氮屏蔽上蓋(15)上分別連接液氮進入接頭(12)、液氮放出接口(4),屏蔽下蓋(25)的下部與腔室下密封法蘭(26)相連,屏蔽下蓋(25)上連接探入真空屏蔽筒(32),探入真空屏蔽筒(32)套裝于探入外筒(31)內,探入真空屏蔽筒(32)的下端連接探入真空定位端蓋(37),探入真空定位端蓋(37)與真空密封頂(38)相連。
4.根據權利要求1所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述液氦機構包括套裝于液氮屏蔽內筒(21)內的液氦筒(20),液氦筒(20)的上端連接液氦筒端蓋(19),液氦筒端蓋(19)上分別連接有液氦進入接頭(3)、液氦放出接頭(8)、安全閥(11)、液氦細管(18),液氦細管(18)的上端連接上法蘭(1),液氦筒(20)的下端連接液氦筒下蓋(28),液氦筒下蓋(28)通過液氦導向環(29)與探入液氦筒(33)相連,探入液氦筒(33)的下端連接探入液氦屏蔽端蓋(36),探入液氦屏蔽端蓋(36)與探入真空定位端蓋(37)相連,探入液氦筒(33)內套裝探入實驗管(34),液氮屏蔽上蓋(15)與液氦筒端蓋(19)之間設有至少3片屏蔽片(16)。
5.根據權利要求1至4任一所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述上法蘭(1)分別連接液氦進入接頭(3)、液氮放出接口(4)、吊耳(5)、角閥(6)、安全閥(7)、液氦放出接頭(8)、液氮備用接口(9)、安全閥(11)、液氮進入接頭(12)。
6.根據權利要求5所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述安全閥(11)上連接有球閥(10)。
7.根據權利要求1至4任一所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述探入實驗管(34)由上至下依次穿過密封法蘭(13)、上法蘭(1)、液氮屏蔽上蓋(15)、液氦細管(18)、液氦筒端蓋(19)、液氦筒下蓋(28)、屏蔽下蓋(25)、腔室端蓋(27)。
8.根據權利要求7所述的一種低溫杜瓦腔室,其特征在于:所述探入實驗管(34)的上、下兩端分別連接有樣品放入接口(2)、探入實驗端蓋(35),探入實驗管(34)與上法蘭(1)、液氮屏蔽上蓋(15)、屏蔽片(16)之間分別設置有導向環(17),探入實驗管(34)與屏蔽下蓋(25)、腔室端蓋(27)之間分別設置有同軸導向環(30)。
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