[實用新型]一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統

有效

• 申請號: 201520574884.1
• 申請日: 2015-08-03
• 公開（公告）號: CN204924616U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 周文超;黃德權;胡曉陽;田小強;彭勇;云宇;解平;蔣志雄
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 詹永斌

1.一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于包括前期校準系統和后期校準系統，

所述前期校準系統中平行光源的光經過可變像質裝置進入激光干涉儀；

所述后期校準系統中平行光源的光經過可變像質裝置進入被校準光束質量β因子測量系統；

所述的可變像質裝置包括組合透射像差板、圓環遮攔和固定支座；所述組合透射像差板與圓環遮攔設置在固定支座上，圓環遮攔設置在組合透射像差板與平行光源之間；

所述的組合透射像差板包括若干塊透射像差板，組合透射像差板波前畸變對應的光束質量在被校光束質量β因子測量系統校準范圍內。

2.根據權利要求1所述的一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于所述的透射像差板包括像差鏡、鏡框；其中像差鏡設置在鏡框中。

3.根據權利要求2所述的一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于像差鏡的有效口徑不小于被校光束質量β因子測量系統使用口徑，0°角透射使用；鏡框的有效口徑與像差鏡相同，并具有角度旋轉調節機構。

4.根據權利要求1所述的一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于所述的圓環遮攔的外環與內環同心，根據被校光束質量β因子測量系統中心遮攔尺寸的改變對圓環遮攔的外環與內環進行尺寸改變。

5.根據權利要求1所述的一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于所述固定支座具有俯仰角、方位角精密調節功能。

6.根據權利要求1所述的一種用于CCD遠場法光束質量β因子測量的校準系統，其特征在于所述的平行光源工作波長與被校光束質量β因子測量系統工作波長相同，輸出光束口徑不小于被校光束質量β因子測量系統使用口徑，輸出光束波前畸變PV值小于λ/5。