[實用新型]廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐有效
| 申請號: | 201520550906.0 | 申請日: | 2015-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN204959082U | 公開(公告)日: | 2016-01-13 |
| 發明(設計)人: | 汪偉華 | 申請(專利權)人: | 浙江羿陽太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00;B22D9/00 |
| 代理公司: | 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385 | 代理人: | 董芙蓉 |
| 地址: | 313000 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 廢舊 硅片 澆鑄 成型 硅錠用 定向 凝固 | ||
技術領域
本實用新型屬于硅錠澆鑄技術領域,特別是涉及一種廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐。
背景技術
現有硅錠澆鑄用定向凝固爐,在運行前通過抽真空管道及抽真空泵機組將爐體內腔抽成真空狀態,使得腔室內壓力迅速降到0.05MPa以下,運行時通過氣控球閥關閉。在某個生產階段需要通過進氣管道充入氬氣,并通過氣控球閥來控制進氣量。氣控球閥作為自動閥控制方便,但是一旦氣動元件出現故障,或者在發生斷氣時,就無法實現連續生產,大大降低了生產效率。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題就是克服上述現有技術的不足,而提供一種結構簡單,使用方便;能夠實現連續性生產,從而提高生產效率的廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐。
為解決上述技術問題,本實用新型的技術方案為:
設計一種廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐,包括爐體、進氬氣管道和抽真空管道及抽真空泵機組,其中在進氬氣管道上設有氣控球閥Ⅰ,在抽真空管道上設有氣控球閥Ⅱ,在所述進氬氣管道上并聯有支管道Ⅰ,在支管道Ⅰ上裝有手動閥Ⅰ;所述抽真空管道上并聯有支管道Ⅱ,在支管道Ⅱ上裝有手動閥Ⅱ。
進一步的,所述抽真空管道出口與抽真空泵機組之間設有雜質過濾器。
優選的,所述進氬氣管道與爐體之間通過法蘭盤Ⅰ及緊固件連接。
優選的,所述抽真空管道與爐體之間通過法蘭盤Ⅱ及緊固件連接。
優選的,所述抽真空管道與抽真空泵機組之間通過法蘭盤Ⅲ及緊固件連接。
本實用新型技術方案的有益效果是:
1、在結構上,本實用新型廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐在進氬氣管道和抽真空管道上分別設有旁通支路,并設有手動閥,一旦氣動球閥出現故障或者意外發生斷氣時,可以通過手動閥打開旁通支路,繼續生產;在自然停機時再進行檢修或者更換,從而實現連續性生產,提高了生產效率。
2、在結構上,本實用新型在抽真空管道上增設雜質過濾器,對抽氣過程中氣體中所含的來自爐腔內的石墨粉及其它固體顆粒雜質進行過濾,避免顆粒雜質進入泵體內而對泵內機械部件進行磨損甚至使泵機組故障停機,因而有助于提高泵機組的使用壽命,減少故障停機的次數,進一步提高生產效率。此外,各部分之間通過法蘭盤及緊固件連接,方便快速安裝或者拆卸維修,使用更方便。
3、綜上,本實用新型廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐結構簡單,使用方便,有助于實現連續性生產,從而提高生產效率,因此,非常適于推廣實施。
附圖說明
下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明,其中:
圖1為本實用新型廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐的結構示意圖之一;
圖2為本實用新型廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐的結構示意圖之二;
圖中序號:1、爐體,2、進氬氣管道,3、抽真空管道,4、抽真空泵機組,5、氣控球閥Ⅰ,6、氣控球閥Ⅱ,7、支管道Ⅰ,8、手動閥Ⅰ,9、支管道Ⅱ,10、手動閥Ⅱ,11、法蘭盤Ⅰ,12、法蘭盤Ⅱ,13、法蘭盤Ⅲ,14、雜質過濾器。
具體實施方式
實施例一:
參見圖1,圖中,本實用新型廢舊硅片澆鑄成型硅錠用定向凝固爐,包括爐體1、進氬氣管道2和抽真空管道3及抽真空泵機組4,其中在進氬氣管道上設有氣控球閥Ⅰ5,在抽真空管道上設有氣控球閥Ⅱ6,在進氬氣管道上并聯有支管道Ⅰ7,在支管道Ⅰ上裝有手動閥Ⅰ8;在抽真空管道上并聯有支管道Ⅱ9,在支管道Ⅱ上裝有手動閥Ⅱ10。進氬氣管道、抽真空管道與爐體之間分別通過法蘭盤Ⅰ、Ⅱ11、12、及螺栓固定連接。在抽真空管道與抽真空泵機組之間通過法蘭盤Ⅲ13及螺栓固定連接。
實施例二:
參見圖2,圖中,本實施例與實施例一結構相似,其中相同編號代表意義相同,結構上相同部分在此不再重述,其區別在于:本實施例在抽真空管道出口與抽真空泵機組之間設有雜質過濾器14。
以上所述僅為本實用新型示意性的具體實施方式,并非用以限定本實用新型的范圍,任何本領域的技術人員在不脫離本實用新型構思和原則的前提下所做出的等同變化與修改,均應屬于本實用新型保護的范圍。
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