[實用新型]熱電偶引出裝置有效
| 申請號： | 201520546301.4 | 申請日： | 2015-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN204788703U | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發明（設計）人： | 王寶友;王鵬;李素華;劉祥超;王燕鋒 | 申請（專利權）人： | 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | G01K7/02 | 分類號： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱電偶 引出 裝置 | ||
1.一種熱電偶引出裝置，用于將熱電偶由真空腔室引出，所述真空腔室設有供所述熱電偶引出的管道，其特征在于，所述熱電偶引出裝置包括：
導向件，內部沿其軸向設置有貫穿且與所述管道相通的第一通孔，所述導向件包括相對的第一端部和第二端部，所述第一端部沿所述第一通孔的徑向設置有與所述第一通孔相連通的第二通孔，所述第二端部與所述真空腔室連接；
固定件，與所述導向件的所述第一端部固定連接，所述固定件用于封閉所述第一端部；
密封件，位于所述第一通孔內，所述密封件由所述固定件抵壓實現所述導向件與熱電偶之間的密封。
2.根據權利要求1所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述第一通孔具有至少兩種不同規格的橫截面積，所述第一端部內部的所述第一通孔的橫截面積大于位于所述第二端部內部的所述第一通孔的橫截面積，且所述第一端部向所述第二端部過渡段的所述第一通孔的橫截面積逐漸減小。
3.根據權利要求1所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述熱電偶引出裝置還包括用于壓緊密封件以增加密封性能的壓緊件，所述壓緊件位于所述密封件與所述固定件之間，且分別與所述密封件、所述固定件相抵接。
4.根據權利要求3所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述壓緊件與所述熱電偶之間設有規定的距離。
5.根據權利要求1所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述第一端部沿圓周方向設置有一圈所述第二通孔，每個所述第二通孔的直徑不小于熱電偶的直徑。
6.根據權利要求1所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述密封件的內部設置有能夠使熱電偶通過的通道。
7.根據權利要求6所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述密封件置于第一端部的第一通孔和第二端部的第二通孔之間，密封第二端部的第一通孔。
8.根據權利要求7所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述密封件為彈性件，所述密封件在所述固定件的擠壓變形下分別與所述固定件和所述導向件緊密接觸。
9.根據權利要求1所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述熱電偶引出裝置還包括用于連接真空腔室內設置的供熱電偶引出的管道與所述導向件的連接件。
10.根據權利要求9所述的熱電偶引出裝置，其特征在于，所述連接件為法蘭。
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