[實(shí)用新型]晶圓取片器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520535108.0
• 申請(qǐng)日: 2015-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN204792750U
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉宗超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都嘉石科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙) 51223
• 代理人: 胡川

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓取片器。

背景技術(shù)

集成電路制造中自動(dòng)化程度已經(jīng)很高，但仍有部分工序需要人工手動(dòng)操作，例如需要人工手動(dòng)從晶舟(cassette)當(dāng)中取放晶圓，特別是從晶舟中挑選出特定的晶圓時(shí)更需要手動(dòng)操作。

由于人體會(huì)分泌油脂和汗液，所以人體皮膚上具有油脂和鹽分，為了避免操作人員皮膚上存在的鹽分或油脂使半導(dǎo)體器件受到影響，通常使用夾持晶圓特定部分的鑷子來(lái)夾持晶圓或者使用真空吸筆吸取晶圓。但是，使用鑷子非常容易損傷晶片的邊緣，進(jìn)而導(dǎo)致半導(dǎo)體器件失效，影響產(chǎn)品的良率，而使用真空吸筆可以防止晶圓損傷，但在晶圓不平整或者表面存在附著物時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)吸附不牢的情況，導(dǎo)致晶圓從真空吸筆上脫落，危險(xiǎn)很大。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓取片器，能夠方便、安全地取放晶圓。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種晶圓取片器，包括：手柄，所述手柄為中空結(jié)構(gòu)，在所述手柄上設(shè)有泄壓閥，所述泄壓閥用于對(duì)手柄內(nèi)部進(jìn)行泄壓；真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器連接所述手柄的尾端；雙叉支架，所述雙叉支架包括連接臂、第一叉臂和第二叉臂，所述連接臂固定在所述手柄的前端，所述第一叉臂和所述第二叉臂分別固定在所述連接臂的兩端；吸盤，所述吸盤通過彈性氣管連接所述手柄的前端，且所述吸盤位于所述第一叉臂和所述第二叉臂之間，所述吸盤的吸附面略高于所述第一叉臂和所述第二叉臂的上表面。

優(yōu)選地，所述真空發(fā)生器為軟囊。

優(yōu)選地，所述軟囊與所述手柄的尾端可拆卸連接。

優(yōu)選地，所述第一叉臂和所述第二叉臂的上表面設(shè)有橡膠墊圈或者橡膠條。

優(yōu)選地，所述第一叉臂和所述第二叉臂遠(yuǎn)離所述連接臂的一端為弧形。

優(yōu)選地，所述第一叉臂和所述第二叉臂的材質(zhì)為不銹鋼或鋁合金。

區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本實(shí)用新型的有益效果是：利用吸盤吸附晶圓并采用雙叉支架支撐晶圓，即使在真空泄漏的情況下，也可以很好地支撐晶圓，保證晶圓不會(huì)掉落，從而能夠方便、安全地取放晶圓，可應(yīng)用于多種場(chǎng)合。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例晶圓取片器的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例晶圓取片器吸附晶圓時(shí)的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

參見圖1，是本實(shí)用新型實(shí)施例晶圓取片器的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例的晶圓取片器包括手柄1、真空發(fā)生器2、雙叉支架3和吸盤4。

手柄1為中空結(jié)構(gòu)，在手柄1上設(shè)有泄壓閥11，泄壓閥11用于對(duì)手柄1內(nèi)部進(jìn)行泄壓。真空發(fā)生器2連接手柄1的尾端。雙叉支架3包括連接臂30、第一叉臂31和第二叉臂32，連接臂30固定在手柄1的前端，第一叉臂31和第二叉臂32分別固定在連接臂30的兩端，且第一叉臂31和第二叉臂32向遠(yuǎn)離手柄1的方向延伸。吸盤4通過彈性氣管41連接手柄1的前端，且吸盤4位于第一叉臂31和第二叉臂32之間，吸盤4的吸附面略高于第一叉臂31和第二叉臂32的上表面。

在本實(shí)施例中，真空發(fā)生器2為軟囊。在吸附晶圓時(shí)，首先擠壓軟囊，由于吸盤4的吸附面略高于第一叉臂31和第二叉臂32的上表面，吸盤4會(huì)順利接觸到晶圓，待吸盤4接觸晶圓后松開軟囊，手柄1的內(nèi)部空間形成負(fù)壓從而吸附晶圓。由于連接吸盤4和手柄1的是彈性氣管41，其具有一定彈性，所以吸盤4的吸附面在晶圓重力作用下略微下降，這時(shí)吸盤4的吸附面和第一叉臂31和第二叉臂32的上表面高度基本相同，第一叉臂31和第二叉臂32與吸盤4一同起到支撐晶圓的作用，如圖2所示。在放置晶圓時(shí)，將晶圓移動(dòng)到指定位置，然后按壓泄壓閥11使手柄1內(nèi)外壓力平衡，吸盤4將釋放晶圓。