[實用新型]一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具

有效

• 申請號: 201520458616.3
• 申請日: 2015-06-30
• 公開（公告）號: CN204912355U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 楊蘇圣
• 申請（專利權）人: 上海科秉電子科技有限公司
• 主分類號: B21D1/08
• 分類號: B21D1/08
• 代理公司: 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241
• 代理人: 黃美英

技術領域

本實用新型涉及一種整形工具，尤其涉及一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具。

背景技術

AppliedMeterials(以下稱應用材料)所設計的Encore機型為300mm集成電路生產一重要設備，其中外防著板(以下統稱Outershield)為設備中核心零件，外防著板呈圓筒狀，主要用途是阻隔電漿能量、提供磁力線圈能量及捕捉多馀金屬離子，零件的使用狀況與集成電路生產的穩定度及品質有著密不可分的關系。

Outershield會因使用時間的增加，逐漸因真空引力、溫度逐漸變形影響生產設備的品質與穩定度。當設備的穩定度或產品品質無法達到需求時，客戶的選擇都是以報廢舊品、更換新品的方式為最終的選擇。在成本的支出上是一個沉重的負擔。即時對Outershield形狀進行整形，可以有效的延長其使用壽命與效能。但由于Outershield造型特殊，有效的整形品質并不溶易達成。

發明內容

本實用新型的目的，就是為了解決上述現有技術存在的問題，而提供一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，對Encore機型的外防著板具有優良的整形效果，延長了Encore機型的外防著板的使用壽命。

實現上述目的的技術方案是：一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，所述外防著板呈圓筒狀結構，所述整形工具包括整形板，所述整形板水平設置，所述整形板的中部開設一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔，所述整形孔的直徑與所述外防著板的直徑相適配，所述外防著板穿插在所述整形孔中。

上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形板的材質為鋁合金。

上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形工具采用CNC精密加工切削形成。

上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形板的下表面上均布四根立柱。

本實用新型的適用于Encore機型的外防著板的整形工具，結構簡單，使用方便，對Encore機型的外防著板具有優良的整形效果，延長了Encore機型的外防著板的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的整形工具的結構示意圖；

圖2是本實用新型的整形工具的使用狀態圖。

具體實施方式

為了使本技術領域的技術人員能更好地理解本實用新型的技術方案，下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。

請參閱圖1和圖2，本實用新型的實施例，一種適用于Encore機型的外防著板2的整形工具1，外防著板2呈圓筒狀結構，整形工具1包括整形板11，整形板11水平設置，整形板11的中部開設一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔12，整形孔12的直徑與外防著板2的直徑相適配，外防著板2穿插在整形孔12中。整形板11的材質為鋁合金。整形工具1采用CNC精密加工切削形成。

優選地，整形板11的下表面上均布四根立柱(圖中未顯示)，立柱用于支撐整形板11。

發明人在客戶使用現場采集相關數據，經過研究和實踐，開發了本實用新型的整形工具1，可有效的提供優良的整形成果。制作本發明的整形工具1時，先測量外防著板2的大小，做為整形工具1設計的依據。采用CNC精密加工切削形成整形工具1造型。整形工具1材質選用輕巧易加工的鋁合金。

再請參閱圖2，本實用新型的整形工具1，在使用的時候，利用整形工具1所設計的整形孔12，將外防著板2穿過整形孔12，對變形的外防著板2進行強制整形，恢復外防著板2原有造型。

提供集成電路生產設備更佳的零部件使用壽命為本實用新型的整形工具1最大的優勢；集成電路生產過程中，會因為零部件的品質差異，對生產穩定度有著不同程度的影響，當生產設備不穩定時，皆需要投入大量的人力、物力、時間去解決，對于分秒必爭的集成電路行業，是個沉重的負擔。

本實用新型的整形工具1的開發，可以有效的延長零部件得使用壽命，大幅的降低客戶端對于新品采購的成本，達成實質上有效的節約。

以上實施例僅供說明本實用新型之用，而非對本實用新型的限制，有關技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變換或變型，因此所有等同的技術方案也應該屬于本實用新型的范疇，應由各權利要求所限定。