[實用新型]一種雙圓柱形MIM表面等離子波導結構的加速度傳感裝置有效
| 申請號： | 201520454693.1 | 申請日： | 2015-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN204789621U | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發明（設計）人： | 秦柳麗;朱君;宋樹祥;傅得立 | 申請（專利權）人： | 廣西師范大學 |
| 主分類號： | G01P15/03 | 分類號： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 桂林市華杰專利商標事務所有限責任公司 45112 | 代理人： | 劉梅芳 |
| 地址： | 541004 廣西壯*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 圓柱形 mim 表面 等離子 波導 結構 加速度 傳感 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種雙圓柱形MIM表面等離子波導結構的加速度傳感裝置，包括Si基底，其特征是，還包括
大小相同的第一MIM波導結構和第二MIM波導結構，所述MIM波導結構為圓柱形MIM波導結構；所述第一MIM波導結構和第二MIM波導結構設置在Si基底上；
光纖直波導，所述光纖直波導設置在Si基底上，所述第一MIM波導結構和第二MIM波導結構對稱設置在光纖直波導的兩側，并與光纖直波導靠接。
2.根據權利要求1所述的雙圓柱形MIM表面等離子波導結構的加速度傳感裝置，其特征是，所述的圓柱形MIM波導結構是對稱的金-二氧化硅-金表面等離子波導。
3.根據權利要求1所述的雙圓柱形MIM表面等離子波導結構的加速度傳感裝置，其特征是，所述的光纖直波導是采用微納光纖通過酒精燈一次熔融拉伸形成。
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