[實(shí)用新型]一種全息制作平面閃耀光柵的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520371123.6 | 申請日： | 2015-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN204666854U | 公開（公告）日： | 2015-09-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄒文龍;吳建宏;許立雄;王健 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州大學(xué) |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海鋒 |
| 地址： | 215123 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 全息 制作 平面 閃耀 光柵 裝置 | ||
1.一種全息制作平面閃耀光柵的裝置，包括涂布偶氮化合物薄膜的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，偶氮化合物薄膜退火的真空烘箱，其特征在于還包括以下兩個(gè)裝置：
(1)全息光刻裝置，包括激光器、半波片、格蘭棱鏡、四分之一波片、反射鏡，激光器產(chǎn)生的激光經(jīng)過用以調(diào)節(jié)激光偏振態(tài)的半波片，經(jīng)過格蘭棱鏡分成兩束光，一束光通過四分之一波片后變成左旋圓偏振光，另一束光通過四分之一波片后變成右旋圓偏振光，偶氮化合物薄膜放置于左旋圓偏振光與右旋圓偏振光發(fā)生干涉之處；
(2)傾斜照明裝置，包括激光器、起偏器，激光器產(chǎn)生的激光經(jīng)過起偏器將激光的偏振方向調(diào)制成垂直于光柵線條，傾斜照明上述形成的正弦型光柵。
2.如權(quán)利要求1所述的全息制作平面閃耀光柵的裝置，其特征在于：所述全息光刻裝置所采用的激光器為波長在350納米～446納米的激光器。
3.如權(quán)利要求2所述的全息制作平面閃耀光柵的裝置，其特征在于：所述激光器為氪離子激光器。
4.如權(quán)利要求1所述的全息制作平面閃耀光柵的裝置，其特征在于：所述全息光刻裝置中，透射光路中的四分之一波片的光軸與透射光的偏振方向成45°，反射光路中四分之一波片的光軸與反射光的偏振方向成-45°。
5.如權(quán)利要求1所述的全息制作平面閃耀光柵的裝置，其特征在于：所述的傾斜照明裝置中，激光器安裝在旋轉(zhuǎn)臺上。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于蘇州大學(xué)，未經(jīng)蘇州大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520371123.6/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：光學(xué)元件
- 下一篇：一種CT極性檢測裝置
