[實用新型]一種硅棒切片機床用導向裝置

有效

• 申請號: 201520359271.6
• 申請日: 2015-05-29
• 公開（公告）號: CN204736348U
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發明（設計）人: 王會敏;何京輝;李立偉;張立濤;菅書勇
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型涉及硅棒線切割機技術領域。

背景技術

NTC442切片機床是在半導體制造行業中廣泛使用的用于切割單晶或多晶硅棒的設備。目前，NTC442切片機床上所使用的線鋸導向裝置，每次更換其中的外套時都要將導向輪的主體的外蓋完全拆卸開，才能將外套取出，既費時間又，影響工作效率，影響生產成本；還容易在反復拆卸過程中造成螺絲打滑，造成導輪主體損壞，影響導向裝置的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是針對上述現有技術的不足，提供一種硅棒切片機床用導向裝置，外套拆裝簡單，省時省力，不會影響導向輪的機械結構。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：

一種硅棒切片機床用導向裝置，包括導向輪、彈性外套，所述導向輪外緣設有與所述彈性外套匹配的卡槽，所述彈性外套套裝于所述卡槽內，所述彈性外套的外緣設有至少一條線鋸導向槽。

作為進一步的技術方案，所述卡槽為方形卡槽或梯形卡槽。

作為進一步的技術方案，所述導向輪包括導輪主體、中軸、軸承所述導輪主體的中部設有與所述軸承配合的中心通孔，所述中軸與所述導輪主體之間通過軸承連接，所述中心通孔的一端設有蓋板，其通過螺栓與所述導輪主體固接。

作為進一步的技術方案，所述導輪主體與所述蓋板之間設有墊圈。

作為進一步的技術方案，所述導輪主體上遠離所述蓋板的一側設有環形凸臺，所述環形凸臺與所述導輪主體一體且同軸，其內徑小于所述中心通孔的內徑。

作為進一步的技術方案，沿所述導輪主體的徑向均勻設有四個通孔。

作為進一步的技術方案，所述彈性外套為樹脂外套。

作為進一步的技術方案，所述彈性外套的外緣設有一條線鋸導向槽。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：

采用彈性外套以及與其配合的導向輪，在更換外套時，無需拆卸導向輪，可以直接拆裝，省時省力，不會影響導向輪的機械結構，延長導向裝置的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1中的A-A剖視結構示意圖。

圖中：1、導向輪；11、導輪主體；12、中軸；13、軸承；14、中心通孔；15、蓋板；16、墊圈；17、環形凸臺；18、通孔；2、彈性外套；3、卡槽、4、線鋸導向槽。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖所示1-2，為本實用新型一種硅棒切片機床用導向裝置（NTC442切片機床）的一個實施例，包括：

導向輪1、彈性外套2。導向輪1外緣設有與彈性外套2匹配的卡槽3，其為方形卡槽。彈性外套2為單槽的樹脂外套，套裝于卡槽3內，方形的卡槽3可以使外套的拆裝方便，定位效果好、連接更牢固。彈性外套2為樹脂外套，其外緣設有一條線鋸導向槽4，起到導向作用。卡槽3也可以為梯形卡槽，在圖中未示出，梯形卡槽上套裝有與梯形卡槽的截面配合的截面也為梯形的彈性外套2，也可以達到牢固的定位效果。采用彈性材料制作外套，在拆卸過程中利用外套自身的彈力可以在不用拆卸導向輪1的情況下直接拆裝外套，方便快捷，不影響導向輪1的機械結構。

導向輪1包括導輪主體11、中軸12、軸承13。導輪主體11的中部設有與軸承13配合的中心通孔14，中軸12與導輪主體11之間通過軸承13連接，使導向輪1結構牢固且緊湊，轉動所承受的阻力小。

中心通孔14的一端設有蓋板15，其通過螺栓與導輪主體11固接，對內部的軸承連接結構起到保護作用，不容易磕碰或受到污染。

導輪主體11與蓋板15之間設有墊圈16，墊圈16上設有與蓋板15上的螺孔相對應的螺孔，螺栓貫穿蓋板15和墊圈16，將兩者與導輪主體11固定連接。防止在運動過程中中軸12與蓋板15之間發生摩擦或磕碰，影響使用效果和使用壽命。

導輪主體11上遠離所述蓋板15的一側設有環形凸臺17，環形凸臺17與導輪主體11一體且同軸，其內徑小于中心通孔14的內徑。環形凸臺17可以保護中軸12，使其在運動過程中不易因偏擺而折斷，也能對軸承連接結構起到保護作用。

沿導輪主體11的徑向均勻設有四個通孔18。通孔18均為圓弧狀的通孔，能在拆裝過程中方便操作人員握住導輪主體11施加作用力，還能在一定程度上減輕導輪主體11的自重，在保證使用性能和壽命的前提下，使其在運動過程中更加穩定。