[發明專利]平板顯示器制造設備的起模針模塊

有效

• 申請號: 200810085711.8
• 申請日: 2006-05-09
• 公開（公告）號: CN101261791A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 李榮鐘;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯壽;李禎彬;黃榮周;孫亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龍泰
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: G09F9/30
• 分類號: G09F9/30
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 章社杲;吳貴明

本申請是于2006年5月9日向國家知識產權局提交的名稱為“平板顯示器制造設備的起模針模塊”的第200610079818.2號專利申請的分案申請。

技術領域

本發明是關于平板顯示器制造設備的起模針模塊，當基板被送入或送出時，上述起模針模塊上升到送入或送出上述基板的高度。

背景技術

一般性的平板顯示器制造設備，是用來將平板顯示器的基板送入內部，利用等離子體等實施蝕刻等處理。這里所說的平板顯示器(Flat?Panel?Display)指的是液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display)、等離子體顯示板(Plasma?Display?Panel)、有機發光二極管(OrganicLight?Emitting?Diodes)等，在這些平板顯示器制造設備中，真空處理用設備一般由負荷固定艙(Load?lock)、輸送艙及處理艙等三個真空艙組成。

其中，上述負荷固定艙是在輪流轉換氣壓狀態和真空狀態下形成，其作用是，從外部接收未處理的基板，或者向外部送出已處理完的基板。上述輸送艙有一搬運機械手，在各個艙室之間搬運基板，其作用是，將需要處理的基板從負荷固定艙送到處理艙，或者將已處理完的基板從處理艙送到負荷固定艙。上述處理艙的作用是，在真空狀態下利用等離子體或熱能，在基板上形成薄膜或進行蝕刻。

原有的平板顯示器制造設備如圖1所示，其內部由以下幾個部分組成：輪流維持真空狀態和氣壓狀態的同時，與外部進行接觸，在內部進行工藝處理的艙室10；位于上述艙室10上部的上部電極12；與上述上部電極12隔離，位于下部并承載基板S的下部電極14。

上述上部電極12的最底端有一噴水頭(Shower?head)，把工藝氣體噴到基板S上。

上述下部電極14被位于外壁和上部邊緣的絕緣板(未圖示)所包圍，從而保護該下部電極14免受等離子體的影響，然后利用幾個螺栓分別固定上部邊緣和側面及下面。

在上述艙室10的指定部分裝配排氣裝置(未圖示)，以清除已用于基板S處理的工藝氣體及其副產物等。當然，為使艙室10內部處于真空狀態，有時候該排氣裝置被用來排放艙室10內部的氣體。

其中，如圖2所示，為了支撐裝入上述下部電極14的基板S邊緣，在上述下部電極14的邊緣裝配了形成一定間隔的幾個起模針(Lift?pin：20)，該起模針可以通過朝厚度方向穿過下部電極14形成的幾個起模針孔16。該起模針20的作用是，通過起模針孔16上升及下降，將基板S抬起，或者將送入艙室10內部的基板S裝入下部電極14。

換言之，上述起模針20的作用是，當基板S被搬運裝置從艙室10外部送入艙室時，將該基板S抬至一定高度，待搬運裝置退出艙室10后，將該基板S放到下部電極14上。

此時，一個下部電極14上有幾個上述起模針20，但是這幾個起模針20應該同時上升或下降。于是，在上述下部電極14的外部底側裝配了與幾個起模針20相結合的起模針板30，該起模針板30通過其他驅動裝置(未圖示)上升，也就是說，幾個起模針20通過該驅動裝置同時上升。

接著，上述幾個起模針20穿過艙室10下壁，延伸到該艙室10的底側，而固定在每個起模針20下部的起模針板30，位于艙室10底側的外部。

這些起模針20是這樣升降的：驅動裝置對起模針板30施加上升壓力，促使固定在該起模針板30上的起模針20升降。

其中，從上述起模針20朝艙室10底側裸露的部分，也就是說，在上述艙室10的底面和起模針板30之間裸露的起模針20，被風箱(Bellows：32)所包圍。

這些風箱32的作用是，在幾個起模針20上升時收縮，當該起模針20下降時松弛，以保持艙室10內部的真空狀態。

可是，如果上述起模針20在位于下部電極14的起模針孔16內部升降時，根據該起模針孔16的直徑引起以下各種問題：如果上述起模針孔16的直徑大，將會發生上述起模針20所在位置的溫度和下部電極14周邊溫度的溫差及電壓差，促使與上述起模針孔16相應的基板S底面產生一種亮度不均勻的污點(Mura)。相反，如果上述起模針孔16的直徑小，那么，通過起模針孔16升降的起模針20和該起模針孔16之間發生磨擦，從而產生顆粒(Particle)。在上述起模針板30上定位的起模針20，若適用于大面積基板S，應配備幾個起模針，而且其中心位置要分別對準起模針孔16，所以組裝難度非常高。