[實用新型]一種電子束流剖面及強度分布測量儀

有效

• 申請號: 201520312780.3
• 申請日: 2015-05-15
• 公開（公告）號: CN204631255U
• 公開（公告）日: 2015-09-09
• 發明（設計）人: 沈松;張麗華;韓雷;蔣征;王偉;李玉明;趙延軍
• 申請（專利權）人: 天津藍孚高能物理技術有限公司
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 天津市新天方有限責任專利代理事務所 12104
• 代理人: 張強

技術領域

本實用新型涉及電子束測量儀領域，尤其涉及一種電子束流剖面及強度分布測量儀。

背景技術

現有技術是采用玻璃片上觀察或量測電子束；由于其邊界不十分清晰，且從顏色上分辨束流強度難有定量描述，為此我們設計了一種電子束流剖面及強度分布測量儀。

發明內容

本實用新型為了解決傳統使用玻璃片難以定量描述電子束的問題，而提供一種電子束流剖面及強度分布測量儀。

本實用新型為實現上述目的，提供一種電子束流剖面及強度分布測量儀，包括光闌片和銅導線，光闌片下面設有絕緣環，絕緣環下面設有法拉第筒，法拉第筒下部外端包有絕緣底座；法拉第筒一側設有用以固定銅導線的螺釘，螺釘和法拉第筒之間墊有墊片；銅導線一側設有束流放大器，束流放大器一側連接有計算機，絕緣底座一側設有驅動軸，驅動軸一側連接有步進電機；所述的光闌片中心位置有一個小孔。

所述的光闌片中心位置的小孔的直徑為0.1mm。

所述的絕緣環為瓷環。

本實用新型的有益效果是：本實用新型所述的一種電子束流剖面及強度分布測量儀，可以直觀觀察并定量描述電子束流剖面及強度分布。

附圖說明

圖1為本實用新型所述的一種電子束流剖面及強度分布測量儀的結構示意圖；

其中：1-光闌片；2-絕緣環；3-法拉第筒；4-絕緣底座；5-墊片；6-螺釘；7-束流放大器；8-銅導線；9-計算機；10-驅動軸；11-步進電機。

具體實施方式

以下將結合本實用新型的實施例參照附圖進行詳細敘述。

一種電子束流剖面及強度分布測量儀，包括光闌片1和銅導線8，光闌片1下面設有絕緣環2，絕緣環2下面設有法拉第筒3，法拉第筒3下部外端包有絕緣底座4；法拉第筒3一側設有用以固定銅導線8的螺釘6，螺釘6和法拉第筒3之間墊有墊片5；銅導線8一側設有束流放大器7，束流放大器7一側連接有計算機9，絕緣底座4一側設有驅動軸10，驅動軸10一側連接有步進電機11；所述的光闌片1中心位置有一個小孔。

所述的光闌片1中心位置的小孔的直徑為0.1mm。

所述的絕緣環2為瓷環。

步進電機11驅動整個測量儀運作；步進電機11帶動光闌片1中心位置的小孔在X向和Y向分別一步一步地掃過束斑；法拉第筒3接受的電流對應該束斑穿過該小孔的束流強度；因為小孔很小，所接受的是弱電流，需經束流放大器7將信號輸入到計算機9中進行數據處理和繪圖，最后輸出束流剖面和強度分布情況。