[實(shí)用新型]太陽能硅片擴(kuò)散裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520292509.8
• 申請(qǐng)日: 2015-05-07
• 公開（公告）號(hào): CN204538072U
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竺峰;趙國(guó)成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波富星太陽能有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;C30B31/16
• 代理公司: 寧波誠(chéng)源專利事務(wù)所有限公司 33102
• 代理人: 景豐強(qiáng)

1.一種太陽能硅片擴(kuò)散裝置，包括爐體管(1)及設(shè)置于該爐體管(1)內(nèi)的噴淋管(2)，所述噴淋管(2)的底部沿長(zhǎng)度方向間隔布置有若干個(gè)噴淋孔(21)，其特征在于：所述爐體管(1)上側(cè)的內(nèi)壁上成型有供噴淋管(2)穿過的定位環(huán)(11)，所述噴淋管(2)底部具有三排沿長(zhǎng)度方向布置的噴淋孔(21)，所述噴淋管(2)上外側(cè)兩排噴淋孔(21)孔心軸之間的夾角(α)為105°～115°，同一排所述噴淋孔(21)中相鄰兩噴淋孔(1)的孔心距為4.74～4.78mm；所述爐體管(1)內(nèi)腔的中部設(shè)置有沿長(zhǎng)度方向布置的尾部進(jìn)氣管(3)，所述爐體管(1)底部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有尾部出氣管(4)及溫度測(cè)量件(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能硅片擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述噴淋管(2)的外周設(shè)置有一能將該噴淋管(2)與爐體管(1)之間密封連接的連接塞(22)，該連接塞(22)的外周套設(shè)有一密封套。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能硅片擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述噴淋管(2)上靠近進(jìn)液端設(shè)置有與噴淋孔(21)相對(duì)應(yīng)的便于裝配的磨砂部(20)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能硅片擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述的噴淋孔(21)分布為自噴淋管(2)的進(jìn)液端依次向后布置的第一噴淋區(qū)(23)、第二噴淋區(qū)(24)及第三噴淋區(qū)(25)，所述第一噴淋區(qū)(23)中噴淋孔(21)的孔徑為0.4mm，所述第二噴淋區(qū)(24)中噴淋孔(21)的孔徑為0.5mm，第三噴淋區(qū)(25)中噴淋孔(21)的孔徑為0.6mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能硅片擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述噴淋管(2)的外徑(R1)為14mm，所述爐體管(1)上定位環(huán)(11)的內(nèi)徑(R2)為18mm。