[實用新型]一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備

有效

• 申請號: 201520253684.6
• 申請日: 2015-04-23
• 公開（公告）號: CN204573579U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 甘萬
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: F17C7/04
• 分類號: F17C7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及特殊氣體輸送技術領域，尤其涉及一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備。

背景技術

隨著全球電子產業和光伏產業的蓬勃發展，國內的半導體和光伏等制造業也得到了迅猛的發展。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”可見光伏產業在近幾年的快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

目前，在半導體或光伏的相關產業中，通常的制程中一般會需要使用到許多的特殊氣體，其中一些是液態性氣體，需要轉化為氣態性氣體來使用；然而，現有的用于氣體狀態轉換的設備較為缺乏，并且工作效率交底，同時還存在著操作復雜而導致泄露等安全隱患。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備，具備工作效率高、安全性能好等優點。

上述的一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備，包括柜體，其中，所述柜體的一個側壁上設置有密閉門和觀察窗，所述密閉門位于觀察窗的上方，所述密閉門的表面設置有顯示屏和蜂鳴器；所述柜體的頂部設置有風閥和差壓表，所述差壓表的上方設置有三色指示燈；所述柜體的內部設置有輔助盤面、蒸發罐以及高溫盤面，所述輔助盤面和蒸發罐均位于高溫盤面的下方。

上述裝置中，所述觀察窗為防爆玻璃視窗。

上述裝置中，所述風閥設置有調節裝置。

上述裝置中，所述蒸發罐設置有壓力傳感器和液位傳感器。

上述裝置中，所述蜂鳴器和三色指示燈組成報警單元。

上述裝置中，還包括操作單元和微處理器。

上述裝置中，所述操作單元位于密封門的表面，所述顯示屏通過操作單元與微處理器相連。

上述裝置中，所述顯示屏為LED觸摸屏。

本實用新型的優點和有益效果在于：本實用新型提供了一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備，主要適用于液態性氣體的凈化，降壓及輸送，通過加熱將液態性氣體轉化為氣態性氣體，且蒸發罐有一定的儲存量，從而能夠相對穩定的供應氣體；同時通過報警單元來避免現有的安全隱患問題，具備了較強的安全性能，并最終達到了提高工作效率和降低安全隱患等目的。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型中蒸發罐設備的整體結構示意圖；

圖2是本實用新型中蒸發罐設備的內部結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

如圖1和圖2所示，本實用新型記載了一種用于氣體狀態轉換的蒸發罐設備，主要由柜體1構成，在柜體1的正面側壁上設置有密閉門2和觀察窗3，且該密閉門2位于觀察窗3的上方；同時，在密閉門2的表面還設置有顯示屏6和蜂鳴器10；

優選的，本實用新型中的蒸發罐設備還設置有操作單元和微處理器，具體將操作單元設置于密封門2的表面，并且將顯示屏6通過操作單元與微處理器相連，從而便于對顯示屏6進行操作和控制；同時，為了提高裝置的操作便利性和安全性，上述的顯示屏6采用了LED觸摸屏，而觀察窗3則采用了防爆玻璃視窗。

此外，在柜體1的頂部還設置有風閥4和差壓表5，并且在差壓表5的上方還設置有三色指示燈11，通過該三色指示燈11與上述蜂鳴器10來組成報警單元，從而進一步提高了裝置的安全性能。

優選的，風閥4還設置有調節裝置，從而能夠調節排風量，進而便于操作人員根據現場情況做出臨時的調節。

進一步的，在柜體1的內部設置有輔助盤面7、蒸發罐8以及高溫盤面9，該輔助盤面7和蒸發罐8均位于高溫盤面9的下方；其中，輔助盤面7作為常溫的液態性氣體和惰性氣體輸送的盤面；而蒸發罐8具有一定的容量，能夠相對穩定的供應氣體，主要負責將液態性氣體蒸發為氣態性氣體；至于高溫盤面9則是用來輸送液態性型氣體蒸發后的氣態性氣體，以便完成最終的供應操作。