[實用新型]一種具有預加熱功能的氣體加熱設備

有效

• 申請號: 201520253683.1
• 申請日: 2015-04-23
• 公開（公告）號: CN204574466U
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 甘萬
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: F24H3/00
• 分類號: F24H3/00;F24H9/18;H05B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及氣體輸送領域，尤其涉及一種具有預加熱功能的氣體加熱設備。

背景技術

隨著全球電子和光伏產業的蓬勃發展，國內的半導體和光伏制造業也得到了迅猛的發展。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”光伏產業在近兩年快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

目前，在半導體和光伏相關產業中，常用的制程中需要使用許多特殊氣體，而某些氣體在通過減壓后，因為溫度降低而使調壓閥及其它部件冷凝結冰，導致閥門及部件的壽命受損和氣體的不能正常運輸和供應，從而嚴重影響產業的效率，并導致成本的提高。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，利用預加熱的方式，有效的確保氣體運輸和供應的正常。

上述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，包括殼體和預加熱系統，所述殼體為長方體結構，所述殼體的頂部設置有工藝氣出口、工藝氣進口以及上蓋板；所述預加熱系統包括接線柱、鉑熱電阻、過溫開關、電氣接頭以及電氣接頭預留口，所述接線柱和過溫開關均位于鉑熱電阻的周圍，所述接線柱、鉑熱電阻以及過溫開關均位于上蓋板的下方的殼體內；所述電氣接頭和電氣接頭預留口分別位于殼體的兩個側壁上；所述殼體上設置有電氣接頭的側壁還設置有線纜固定座。

上述設備中，所述接線柱的數量為4根。

上述設備中，所述4根接線柱按照每組2根的布局分為2組。

上述設備中，所述2組接線柱中每組接線柱的功率為600W或1200W。

上述設備中，所述過溫開關的數量為2個。

上述設備中，所述過溫開關的保護溫度為65℃或100℃。

本實用新型的優點和有益效果在于：本實用新型提供了一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，通過在現有加熱設備的基礎上增加了預加熱系統，從而實現了對輸送氣體的預加熱處理，進而避免了由于溫度降低而使調壓閥及其它部件冷凝結冰等情況的發生，并最終達到了確保氣體運輸和供應正常的目的。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型中氣體加熱設備的結構示意圖；

圖2是圖1中氣體加熱設備去除上蓋板后的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

本實用新型記載了一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，包括殼體9和預加熱系統。

如圖1所示，殼體9采用了長方體結構且其頂部設置有工藝氣出口6、工藝氣進口7以及上蓋板10；該工藝氣出口6則作為待加熱氣體的出口，可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR；；而工藝氣進口7作為待加熱氣體的進口，同樣可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR；至于上蓋板10則負責保護其內部的各個部件。

如圖2所示，本實用新型中的預加熱系統包括接線柱1、鉑熱電阻2、過溫開關3、電氣接頭4以及電氣接頭預留口8，該接線柱1和過溫開關3位于鉑熱電阻2的周圍，且接線柱1、鉑熱電阻2以及過溫開關3均位于上蓋板10下方的殼體9的內部；

其中，接線柱1主要負責加熱電源的接入，且共有四根，該4根接線柱1按照每組2根的布局分為2組。單組的功率為600W或1200W，如兩組全接時則功率翻倍；而鉑熱電阻2則主要用于測量系統的溫度，該鉑熱電阻2為PT100型電阻，它的阻值會隨著溫度的變化而改變，PT后的100即表示它在0℃時阻值為100歐姆，在100℃時它的阻值約為138.5歐姆。