[實用新型]一種加熱型蒸發罐

有效

• 申請號: 201520253665.3
• 申請日: 2015-04-23
• 公開（公告）號: CN204865014U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 甘萬
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: B01D1/00
• 分類號: B01D1/00;B01D1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及特殊氣體輸送技術領域，尤其涉及一種加熱型蒸發罐。

背景技術

隨著全球電子和光伏產業的蓬勃發展，國內的半導體和光伏制造業也得到了迅猛的發展。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?！惫夥a業在近兩年快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

目前，在半導體和光伏相關產業中，一般需要使用帶許多特殊氣體，其中一些是液態性氣體，并且在使用時需要轉化為氣態性氣體再進行使用。

蒸發罐是一種用于半導體和光伏產業中為工藝機臺連續配送工藝氣體的設備。然而，現有的蒸發罐結構較為復雜，且蒸發效果并不理想，從而導致氣體的傳輸成本較高。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種加熱型蒸發罐，具備結構簡單、供氣穩定等優點。

上述的一種加熱型蒸發罐，包括罐體，該罐體的頂部設置有液態性氣體入口、氣態性氣體出口、壓力傳感器、液位傳感器、液位開關以及導向磁條；所述罐體的側壁設置有第一硅橡膠加熱帶，所述罐體的底部設置有第二硅橡膠加熱帶和排放口。

上述設備中，所述罐體為密封結構。

上述設備中，所述第一硅橡膠加熱帶為500W加熱帶。

上述設備中，所述第二硅橡膠加熱帶為300W加熱帶。

上述設備中，所述第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的內部均設置有A級鉑熱電阻。

上述設備中，所述罐體還設置有溫控表。

本實用新型的優點和有益效果在于：本實用新型提供了一種加熱型蒸發罐，通過在罐體的側面和底部設置了硅橡膠加熱帶，并利用該兩個硅橡膠加熱帶分別自罐體的側部和底部進行加熱，從而將液態性氣體轉化為氣態性氣體；同時，由于罐體本身具有一定的儲存量，從而可以相對穩定的供應氣體，并最終實現了便于氣體傳輸和控制傳輸成本的目的。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型中加熱型蒸發罐的結構示意圖；

圖2是本實用新型中加熱型蒸發罐的俯視圖；

圖3是圖2中加熱型蒸發罐的A-A剖面示意圖；

圖4是圖2中加熱型蒸發罐的B-B剖面示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

如圖1和圖2所示，本實用新型記載了一種加熱型蒸發罐，包括罐體1，且該罐體1的頂部設置有液態性氣體入口2、氣態性氣體出口3、壓力傳感器4、液位傳感器5、液位開關6以及導向磁條7；

進一步的，本實用新型中加熱型蒸發罐的內部結構如圖3和圖4所示，其中液態性氣體入口2用于接入液態性氣體，而氣態性氣體出口3則負責輸出加熱后的氣態性氣體，且排放口8主要用于清理剩余的氣體。

至于壓力傳感器4則負責檢測罐體1內的壓力，當壓力傳感器4的壓力達到補液前壓力排放設定值后，蒸發罐開始補液；而液位傳感器5則負責檢測液位并控制液位開關6的動作，使得當液體達到設定液位時(補液完成時)，罐體1會自動切換至準備狀態，從而為后續的加熱工藝做好準備；如此便實現了整個蒸發罐設備的自動化操作，從而大大的節省了人力，同時有效的提高了傳輸效率。

優選的，為了增加供氣的穩定性，上述的罐體1采用了密封結構。

同時，在罐體1的側壁設置有第一硅橡膠加熱帶(未在圖中標出)，且在罐體1的底部還設置有第二硅橡膠加熱帶(未在圖中標出)和排放口8；

優選的，由于實際加熱時需要第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的相互配合，所以上述的第一硅橡膠加熱帶為500W加熱帶，而第二硅橡膠加熱帶為300W加熱帶，同時在第一硅橡膠加熱帶和第二硅橡膠加熱帶的內部均設置有A級鉑熱電阻，從而在對罐體1的側部和底部進行加熱時，可以在保證加熱效果的同時，最大化的節省能源，進而避免能源的浪費。