[實用新型]基于氧化物的紫外光敏傳感器

有效

• 申請號: 201520145456.7
• 申請日: 2015-03-13
• 公開（公告）號: CN204516781U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 郭也平;徐傳毅;王珊
• 申請（專利權）人: 納米新能源（唐山）有限責任公司
• 主分類號: H01L31/036
• 分類號: H01L31/036;H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所(普通合伙) 11276
• 代理人: 宋菲;劉云貴

1.一種基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，包括：基底、氧化物涂層、第一電極和第二電極；其中，

所述氧化物涂層形成在所述基底上，用于探測紫外光；

所述第一電極和所述第二電極相互不接觸，作為所述基于氧化物的紫外光敏傳感器的電信號輸出端。

2.根據權利要求1所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述基底為透明基底。

3.根據權利要求2所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述透明基底為石英玻璃基底。

4.根據權利要求1所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述氧化物涂層直接涂覆在所述基底上，所述第一電極和所述第二電極設置于所述氧化物涂層不與所述基底接觸的表面上。

5.根據權利要求1-4任一項所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述氧化物涂層具有多孔型納米晶體結構；其中，所述多孔型納米晶體結構的孔隙率為30％至40％。

6.根據權利要求1-4任一項所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述氧化物涂層為氧化鋅涂層、二氧化錫涂層、二氧化鈦涂層或五氧化二鈮涂層。

7.根據權利要求1-4任一項所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述第一電極和第二電極均為叉指電極。

8.一種基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，包括：基底、第一電極、氧化物涂層和第二電極；其中，

所述第一電極形成在所述基底上；

所述氧化物涂層形成在所述第一電極上，用于探測紫外光；

所述第一電極包括使紫外光透過的第一照射區域，所述第一電極和所述第二電極相互不接觸，作為所述基于氧化物的紫外光敏傳感器的電信號輸出端。

9.根據權利要求8所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述基底為透明基底。

10.根據權利要求9所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述透明基底為石英玻璃基底。

11.根據權利要求8所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，第一電極整體為第一照射區域，所述氧化物涂層直接涂覆在所述第一電極的第一照射區域上，所述第二電極設置于所述氧化物涂層不與所述基底和所述第一電極接觸的表面上。

12.根據權利要求8所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述第一電極還包括不使紫外光透過的第二照射區域，所述氧化物涂層直接涂敷在所述第一電極的第一照射區域和第二照射區域上，所述第二電極設置于所述氧化物涂層不與所述基底和所述第一電極接觸的表面上。

13.根據權利要求8-12任一項所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述氧化物涂層為氧化鋅涂層、二氧化錫涂層、二氧化鈦涂層或五氧化二鈮涂層。

14.根據權利要求8-12任一項所述的基于氧化物的紫外光敏傳感器，其特征在于，所述氧化物涂層具有多孔型納米晶體結構；其中，所述多孔型納米晶體結構的孔隙率為30％至40％。