[實(shí)用新型]偏振器及偏振光照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520088043.X
• 申請日: 2015-02-06
• 公開（公告）號: CN204650013U
• 公開（公告）日: 2015-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橋本和重;新井敏成
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社V技術(shù)
• 主分類號: G02B5/30
• 分類號: G02B5/30;G02B27/28;G02F1/1337
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 呂琳;楊生平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種偏振器及使用偏振器的偏振光照射裝置。

背景技術(shù)

作為從沒有偏振的光獲得直線偏振光的偏振器，已知有線柵偏振器。線柵偏振器為在透光性基板上將電導(dǎo)體的直線狀細(xì)線以微細(xì)線寬/微細(xì)間隔平行排列形成的。其制造方法，例如已知有通過剝離法形成直線狀細(xì)線的方法，及利用電子束光刻或X射線光刻對通過剝離法形成直線狀細(xì)線時(shí)的抗蝕劑形成圖案的方法(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。

將通過偏振器的直線偏振光照射到被照射面的偏振光照射裝置，例如可用于在基板上形成液晶面板用取向膜的光取向處理。這種偏振光照射裝置具備：光照射部，具備棒狀燈和反射鏡；及偏振器單元，并列配置多個(gè)線柵偏振器，并且，沿著設(shè)置于工作載物臺上的處理對象基板的寬度方向配置排列線柵偏振器的光照射部，且使工作載物臺向與處理對象基板的寬度方向正交的方向移動，從而通過直線偏振光對處理對象基板上方進(jìn)行掃描曝光(參考下述專利文獻(xiàn)2)。

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開平10-153706號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利公開2009-265290號公報(bào)

在所述偏振光照射裝置中，需要使并列配置的多個(gè)線柵偏振器的偏光軸方向?qū)?zhǔn)設(shè)定方向。因此，以往進(jìn)行了使各個(gè)偏振器的偏光軸方向分別對準(zhǔn)基準(zhǔn)方向的調(diào)整，作為其調(diào)整方法，使用偏光軸的方向?yàn)橐阎臏y量用偏振器(檢偏器)、及接收通過調(diào)整對象偏振器且進(jìn)一步通過測量用偏振器的光的測量用照度傳感器，一邊對相對于測量用偏振器的調(diào)整對象偏振器的方向進(jìn)行角度調(diào)整，一邊監(jiān)測測量用照度傳感器的輸出，對調(diào)整對象偏振器的方向進(jìn)行調(diào)整以使測量用照度傳感器的輸出為峰值。

根據(jù)這種以往的調(diào)整方法，在測量用照度傳感器的輸出的峰值附近，相對于調(diào)整對象偏振器的微細(xì)角度調(diào)整，測量用照度傳感器的輸出不會產(chǎn)生太大差距。因此，以往的偏光軸方向調(diào)整方法中，存在如下問題，即難以進(jìn)行如要求以0.1deg為單位進(jìn)行調(diào)整的高精度調(diào)整。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型以解決這種問題作為課題的一例。即，本實(shí)用新型的目的為，

在并列配置偏振器單體或多個(gè)偏振器的偏振光照射裝置中，能夠以高精度進(jìn)行偏振器的偏光軸方向的調(diào)整等。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型具備說明書中所記載的幾個(gè)實(shí)用新型中的以下結(jié)構(gòu)。

一種偏振光照射裝置，其具備偏振器、或并列配置多個(gè)偏振器的偏振器單元，將從光源射出且透射偏振器的光照射到被照射面，其中，該偏振器具備：基板，在表面形成有線柵；及遮光部，形成于所述基板上且阻擋透射所述基板的光，光透射的光透射區(qū)域與所述遮光部的邊界線相對于所述線柵的延伸方向在設(shè)定方向上形成為直線狀。

實(shí)用新型效果

具備具有這種特征的本實(shí)用新型的偏振器或并列配置多個(gè)偏振器的偏振器單元的偏振光照射裝置，通過攝像機(jī)圖像拍攝光透射的光透射區(qū)域與遮光部的邊界線，能夠使偏振器的偏光軸對準(zhǔn)基準(zhǔn)方向。由此，能夠以高精度調(diào)整偏振器的偏光軸方向。

附圖說明

圖1是表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的偏振器的說明圖(圖1(a)表示整體俯視圖，圖1(b)表示S部放大圖，圖1(c)表示T部放大圖，圖1(d)表示拍攝U部的拍攝畫面)。

圖2是表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的偏振器的說明圖(圖2(a)表示整體俯視圖，圖2(b)表示S部放大圖，圖2(c)表示T部放大圖，圖2(d)表示拍攝U部的拍攝畫面)。

圖3是表示本實(shí)用新型的一實(shí)施方式的偏振器的說明圖(圖3(a)表示整體俯視圖，圖3(b)表示S部放大圖，圖3(c)表示T部放大圖，圖3(d)表示拍攝U部的拍攝畫面)。

圖4是表示使用本實(shí)用新型的實(shí)施方式的偏振器的偏振光照射裝置的說明圖(圖4(a)為俯視圖，圖4(b)為前視圖)。

圖5是表示圖4所示的偏振光照射裝置的偏光軸調(diào)整方法的說明圖。

圖6是表示本實(shí)用新型的實(shí)施方式的偏振光照射裝置中的偏光板的偏光軸方向調(diào)整方法的另一例子的說明圖(圖6(a)表示第1工序，圖6(b)表示第2工序，圖6(c)表示第3工序。)。

圖中：1、1A、1B、1C-偏振器，1U-偏振器單元，10-基板，11、11A、11B、11C-遮光部，12A、12B、12C、12C’-光透射區(qū)域，G-線柵，P-偏光軸，L-邊界線，L1、L2-基準(zhǔn)線，2-光源，3-被照射基板，3a-被照射面，4-特定波長透射濾波器，100-偏振光照射裝置，E-攝像機(jī)。

具體實(shí)施方式