[實用新型]用于無線通信系統的多層壓電薄膜體聲波諧振器

有效

• 申請號: 201520070282.2
• 申請日: 2015-01-30
• 公開（公告）號: CN204425293U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 李慶文;張勇;王君;張延水;鄧華;蘇豪;鮑娌娜
• 申請（專利權）人: 國家電網公司;國網山東省電力公司煙臺供電公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 田欣欣;李雪花

1.用于無線通信系統的多層壓電薄膜體聲波諧振器，形成于襯底上，其特征是：包括底部電極、頂部電極、第三電極、第一壓電層、第二壓電層、第一導線、第二導線和第三導線；所述襯底蝕刻形成腔體，犧牲材料沉積在襯底上以填充腔體；所述底部電極形成于襯底上方，所述襯底上沉積鎢、鉬或鋁圖案化處理成型為一個多邊形的底部電極；所述底部電極上沉積氮化鋁壓電材料以形成具有向上C軸取向的第一壓電層；所述第三電極由沉積于第一壓電層上的鎢、鉬或鋁圖案化處理后形成；所述第二壓電層位于第三電極上方，第三電極上沉積有氧化鋅壓電材料以形成具有向上C軸取向的第二壓電層；所述第一壓電層的C軸取向和第二壓電層的C軸取向相反；所述頂部電極位于第二壓電層上方，第二電壓層上沉積有鎢、鉬或鋁以形成位于最上方的頂部電極；所述第一壓電層、第三電極、第二壓電層和頂部電極經圖案化形成多層壓電薄膜體聲波諧振器；所述第一導線連接底部電極，第二導線連接頂部部電極，第三導線連接第三電極，第一導線和第二導線相互連接使底部電極和頂部相連通。

2.根據權利要求1所述的用于無線通信系統的多層壓電薄膜體聲波諧振器，其特征是：所述底部電極的厚度為1239nm，第一壓電體層的厚度為1800nm，第三電極的厚度為1000nm，第二壓電層的厚度為1432nm，頂部電極的厚度為1239nm；所述第一壓電層和第二壓電層之間的共振頻率為350MHz。