[實用新型]一種泡生法藍寶石長晶設備的稱重自卸載電動裝置

有效

• 申請號: 201520044587.6
• 申請日: 2015-01-22
• 公開（公告）號: CN204417650U
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發明（設計）人: 劉瑜;杜慧江;胡軒
• 申請（專利權）人: 杭州晶一智能科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術領域

本發明涉及泡生法藍寶石晶體制造領域，尤其涉及一種泡生法藍寶石長晶設備的稱重自卸載電動裝置，同時可適用于其他相似領域。

背景技術

由于藍寶石晶體的光學穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度激光鏡片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/藍光LED的品質取決于氮化鎵外延（GaN）的材料品質，而氮化鎵外延品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關，藍寶石（單晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數失配率小，同時符合GaN?外延工藝中耐高溫的要求，使得藍寶石晶片成為制作白/藍/綠光LED的關鍵材料。

目前最成熟的生長大尺寸低應力無缺陷藍寶石晶體的技術仍然還是泡生法。目前泡生法生長藍寶石晶體的重量越來越大，從35kg級，發展到60kg級，80kg級，100kg級，甚至到120kg級。而晶體重量是體現晶體生長狀況的重要參數，但是隨著晶體重量的增加，所采用的傳感器的重量等級也在不斷增加，同時稱重傳感器的可分辨最小重量也在不斷增加，最終導致這些低精度的稱重數據失去參考價值。

發明內容

（一）要解決的技術問題

為了能在大公斤級設備上繼續使用小量程的稱重傳感器，本專利提供一種泡生法藍寶石長晶設備的稱重自卸載電動裝置，在引晶結束以后，卸除晶體重量，保護小量程的稱重傳感器不受損害。

（二）技術方案

為達到上述目的，本發明提供一種泡生法藍寶石長晶設備的稱重自卸載電動裝置，設置起到容納作用的容腔，所述的容腔頂部設置起到密封作用的頂蓋，所述的頂蓋的底面設置傳感器支架，所述的傳感器支架兩邊至少分別設置一個定位孔，設置光頭螺栓穿過所述的定位孔，與所述的頂蓋固定連接，并設置所述的傳感器支架與所述的頂蓋之間具有間隙，所述的傳感器支架下面設置稱重傳感器，所述的稱重傳感器連接籽晶桿支架，所述的籽晶桿支架設置在所述的容腔底部，所述的籽晶桿支架連接籽晶桿，所述的籽晶桿穿過所述的容腔底部的通孔，所述的容腔底部設置至少一個電動力舉裝置，所述的電動力舉裝置設置在所述的傳感器支架下方，所述的傳感器支架與所述的頂蓋之間設置至少一個位置檢測傳感器。

所述的電動力舉裝置設置電動機和傳動裝置，所述的傳動裝置將所述的電動機的旋轉運動轉換成成上下運動。

所述的傳動裝置的輸出軸向上運動推動所述的傳感器支架觸發所述的位置檢測傳感器。

所述的位置檢測傳感器安裝在所述的傳感器支架上，也可以安裝在所述的頂蓋上。

所述的位置檢測傳感器設置為微動開關，也可以設置為接近開關。

（三）有益效果

從上述技術方案可以看出，本專利具有以下有益效果：

1、????????????????引晶階段，讓晶體重量施加在稱重傳感器上，獲得高精度的稱重數據；

2、????????????????引晶結束以后，將重量從稱重傳感器上卸載下來，避免藍寶石晶體長大以后損害稱重傳感器。

附圖說明

圖1為泡生法藍寶石長晶設備的外形示意圖；

????圖2為稱重自卸載電動裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體的實施實例對本專利作進一步展開說明，但需要指出的是，本發明所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。對于本領域普通技術人員可以推知的其他結構形式，亦屬于本發明所要求保護的范圍之內。

請參閱圖1、圖2，一種泡生法藍寶石長晶設備稱重系統的電動自卸載裝置，設置在爐膛11的頂部，包括起到容納作用的容腔1，所述的容腔1頂部設置起到密封作用的頂蓋2，所述的頂蓋2上設置了帶密封圈的開孔，可以為所述的容腔1內部的裝置提供連接線。

所述的傳感器支架3兩邊至少分別設置一個定位孔，設置光頭螺栓9穿過所述的定位孔，與所述的頂蓋2固定連接，并設置所述的傳感器支架3與所述的頂蓋2之間具有間隙。因此，所述的傳感器支架3可以上下移動，左右及前后位置由所述的定位孔和光頭螺栓9確定。