[發明專利]具有差動對的電容式感測系統

在審

• 申請號: 201511036369.9
• 申請日: 2010-12-29
• 公開（公告）號: CN108151773A
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: G·德波爾;J·J·J·范巴爾;K·P·帕德耶;R·莫賽爾;N·弗吉爾;S·W·H·K·斯廷布林克
• 申請（專利權）人: 邁普爾平版印刷IP有限公司
• 主分類號: G01D5/241
• 分類號: G01D5/241;G01D3/036;G01B7/02;G03F9/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 高巍

1.一種電容式感測系統，包括用于測量所述電容式傳感器與靶材之間的距離的兩個或更多個電容式傳感器、用于為所述電容式傳感器供電的一個或多個AC電源、以及用于處理來自所述電容式傳感器的信號的信號處理電路，其中所述傳感器被成對配置，

其中所述一個或多個AC電源被配置成以交流電流或電壓為一對傳感器中的第一傳感器供電，該交流電流或電壓與供應給該對傳感器中的第二傳感器的電流或電壓相位相差180度，且

其中所述信號處理電路配置成從該對傳感器中的每一傳感器接收輸出信號，并基于接收到的輸出信號產生有關于該對傳感器與靶材間的平均距離的測量數值。

2.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中所述感測系統包括多組成對的傳感器，且其中所述信號處理電路針對每一對傳感器產生差動式測量。

3.如權利要求2所述的電容式感測系統，其中藉由在供電信號的第一半周期期間及該供電信號的第二半周期期間分別將傳感器輸出信號相加，并將各相加后的數值相減，產生所述差動式測量。

4.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中所述傳感器被以具有恒定斜率和振幅的三角形電壓波形供電。

5.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中每一對傳感器均形成于薄膜絕緣基座層上并且彼此接近，且一對傳感器中的每一傳感器均包括形成于所述絕緣基座層的第一表面上的單獨的薄膜感測電極以及定位在所述絕緣基座層的第二表面上的單獨的薄膜背護電極。

6.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中每一對傳感器均進一步包括第二絕緣層，具有與所述背護電極相鄰的第一表面，以及設置在所述第二絕緣層的第二表面上的薄膜屏蔽電極，其中所述第二絕緣層和所述屏蔽電極由所述對傳感器中的兩個傳感器共享。

7.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中所述系統包括四個或更多個電容式傳感器，所述電容式傳感器被配置成對，且其中第一對傳感器中的每一傳感器被供應以交流電流或電壓，其相位不同于供應給相鄰的第二對傳感器中每一傳感器的電流或電壓。

8.如權利要求7所述的電容式感測系統，其中供應給相鄰傳感器對的電流或電壓相位相差90度。

9.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中所述薄膜結構是可撓性的。

10.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中每一傳感器的背護電極的周邊部分延伸超過該傳感器的感測電極，以形成大致環繞所述感測電極的側護電極，該周邊部分設置在所述第二絕緣層的第二表面上。

11.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中每一傳感器均包括單獨的薄膜側護電極，其形成于所述絕緣基座層的第一表面上，該側護電極相鄰于所述傳感器的感測電極形成并定義出在所述側護電極與所述感測電極之間的間隙，且其中所述側護電極電連接所述傳感器的背護電極。

12.如權利要求1所述的電容式感測系統，其中每一傳感器均進一步包括長形連接構件，該構件包含導電軌道印刷或附著于其上的可撓性膜片，該導電軌道在一端電連接至所述傳感器的感測電極而在另一端電連接至連接器。

13.如權利要求12所述的電容式感測系統，其中所述導電軌道形成于所述絕緣層上，且其中所述絕緣層包括所述感測電極形成于其中的第一區域以及所述導電軌道形成于其上的第二長形區域。

14.如權利要求中1所述的電容式感測系統，其中所述絕緣基座層包括所述感測電極形成于其中的第一區域，以及所述導電軌道形成于其上的第二長形區域，所述導電軌道在一端電連接至所述感測電極而在另一端電連接至連接器。