[發(fā)明專利]具有互連結(jié)構(gòu)的鰭式場效應(yīng)晶體管(FinFET)器件結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510987777.6 | 申請日： | 2015-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN106252327B | 公開（公告）日： | 2019-02-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張哲誠;林志翰 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/528 | 分類號： | H01L23/528;H01L23/532;H01L23/48;H01L21/768;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李偉 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 互連 結(jié)構(gòu) 場效應(yīng) 晶體管 finfet 器件 | ||
【權(quán)利要求書】：
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