[發明專利]檢測系統以及檢測方法有效
| 申請號： | 201510860140.0 | 申請日： | 2015-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN105987957B | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 李雨青;余青芳;林俊宏;秦圣基;許庭豪;張慶祥 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N29/12 | 分類號： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 王芝艷;馮志云 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 系統 以及 方法 | ||
【說明書】：
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