[發(fā)明專利]四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)和再生方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510858688.1
• 申請(qǐng)日: 2015-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN105314770A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邢攸美
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/04
• 分類號(hào): C02F9/04;G03F7/30
• 代理公司: 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33230
• 代理人: 馮年群

1.四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：

包括若干送料泵、中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置各至少設(shè)有一組，依次通過帶控制閥的料管連接，所述再生系統(tǒng)用于四甲基氫氧化銨顯影廢液再生的方法按如下步驟進(jìn)行：

（1）酸中和-分離：向儲(chǔ)存四甲基氫氧化銨廢液的中和分離裝置中加入一定濃度比例的酸溶液或通入酸性氣體，隨著酸溶液或酸性氣體不斷的加入，四甲基氫氧化銨被中和生產(chǎn)四甲基季銨鹽，溶液中的pH值也隨之降低，pH值的降低使光刻膠雜質(zhì)產(chǎn)生沉淀析出，再通過離心過濾器過濾分離不溶解的光刻膠沉淀物，去除光刻膠沉淀物；

（2）脫色-過濾處理：步驟（1）處理后的四甲基季銨鹽溶液輸入吸附裝置中進(jìn)行脫色處理，所述吸附裝置出料端設(shè)有微濾或陶瓷過濾器，用于去除殘留的光刻膠沉淀物和顆粒物質(zhì)；

（3）離子交換樹脂凈化提純：經(jīng)過步驟（2）處理后的四甲基季銨鹽溶液先經(jīng)陰離子交換樹脂裝置進(jìn)行還原處理，還原為四甲基氫氧化銨溶液，再經(jīng)過陽離子交換樹脂裝置進(jìn)行濃縮凈化處理，或者直接經(jīng)過陽離子交換樹脂裝置進(jìn)行濃縮凈化處理，然后采用不同濃度的酸性洗脫劑將四甲基氫氧化銨水溶液由質(zhì)量分?jǐn)?shù)2-6%濃縮到15-25%，從而溶液中的光刻膠有機(jī)雜質(zhì)進(jìn)一步去除，最后再將陽離子交換樹脂裝置濃縮凈化處理后的四甲基季銨鹽溶液輸入到陰離子交換樹脂裝置還原為可以在半導(dǎo)體行業(yè)中循環(huán)使用的四甲基氫氧化銨顯影液；

或者采用不同濃度的堿性洗脫劑將四甲基氫氧化銨水溶液由質(zhì)量分?jǐn)?shù)2-6%濃縮到15-25%，從而溶液中的光刻膠有機(jī)雜質(zhì)進(jìn)一步去除，獲得可以在半導(dǎo)體行業(yè)中循環(huán)使用的四甲基氫氧化銨顯影液；

（4）二次凈化處理：步驟（3）獲得的四甲基氫氧化銨顯影液輸送到凈化處理裝置中再次進(jìn)行二次凈化提純處理，所述凈化處理裝置采用螯合陽離子交換樹脂。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：步驟（1）中所述酸溶液為鹽酸溶液、硫酸溶液、磷酸溶液和甲磺酸溶液中的任意一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：步驟（3）中所述陰離子交換樹脂裝置采用氫氧根型的陰離子交換樹脂，所述陽離子交換樹脂裝置采用氫離子型的陽離子交換樹脂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：步驟（3）中所述酸性洗脫劑為鹽酸、磷酸、硫酸和甲磺酸中的任意一種；所述堿性洗脫劑為氫氧化鈉、氫氧化鉀和氨水中的任意一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：步驟（4）中所述螯合陽離子交換樹脂為漂萊特C100、漂萊特C100E、拜爾TP208和拜爾TP2000中的任意一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)，其特征在于：步驟（2）中所述吸附裝置中填充的填料為木質(zhì)活性炭或活性白木，所述微濾或陶瓷過濾器的過濾精度為0.1μm。