[發明專利]一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產系統及方法

有效

• 申請號: 201510828015.1
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN106769273B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 佟雷;劉伯聰;金長宇;趙崇凌
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28;B65G35/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

本發明涉及超高真空下樣品多工序加工及檢測技術領域，具體的說是一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產系統。包括樣品車行走通道、磁耦合傳輸系統、傳輸小車組件、支架、真空抽氣系統及控制系統，其中樣品車行走通道安裝在所述支架上，真空抽氣系統與樣品車行走通道連接，用于樣品車行走通道抽真空，樣品車行走通道內設有在軌道上行駛的傳輸小車組件，樣品車行走通道的外部設有磁耦合傳輸系統，磁耦合傳輸系統與控制系統點連接、并通過控制系統的控制來實現與傳輸小車組件磁耦合及帶動傳輸小車組件前行。本發明采用了磁力耦合傳輸技術，該技術考慮了特殊的極高真空工況環境及空間受限等因素的影響，實現了樣品的穩定可靠傳輸。

技術領域

本發明涉及超高真空下樣品多工序加工及檢測技術領域，具體的說是一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產系統。

背景技術

“真空”是指在指定空間內低于環境大氣壓力的氣體狀態，也就是該空間內氣體分子數密度低于該地區大氣壓的氣體分子數密度。不同的真空狀態，就意味著該空間具有不同的分子數密度。這樣帶來的好處是在這樣的空間內進行類似鍍膜、熱處理、清洗及精細檢測等工藝或檢測過程時將排除空氣中氣體的影響甚至于可以依照實驗者的意愿僅加入自己需要的氣體的參與反應過程。

但國內以往的真空類實驗設備大多只能進行一個過程，具體來說就是當需要進行其它真空類實驗過程時，必須將樣品從真空狀態下取出后重新放入另一個真空室內重新抽氣并進行試驗。但在這個過程中樣品已經與空氣接觸其造成的影響無法估計，嚴重者甚至會造成樣品污染。而且抽真空的過程極其浪費時間，多次反復抽氣嚴重影響工作效率。

目前，國內并沒有生產廠家研制出全自動真空互聯類設備，國外研制真空互聯系統的公司較多，如德國的SPECS公司、CREATEC公司等。這些公司均可以根據客戶要求制作相應的真空互聯系統。大部分的此類系統交接過程為手動進行，與該產品相比，本專利涉及的真空互聯設備極限真空高于SPECE的產品，而且交接為全自動運行。

發明內容

針對以上現有技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產系統。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產系統，包括樣品車行走通道、磁耦合傳輸系統、傳輸小車組件、支架、真空抽氣系統及控制系統，其中樣品車行走通道安裝在所述支架上，所述真空抽氣系統與所述樣品車行走通道連接，用于所述樣品車行走通道抽真空，所述樣品車行走通道內設有在軌道上行駛的傳輸小車組件，所述樣品車行走通道的外部設有磁耦合傳輸系統，所述磁耦合傳輸系統與控制系統點連接、并通過所述控制系統的控制來實現與所述傳輸小車組件磁耦合及帶動所述傳輸小車組件前行。

所述樣品車行走通道包括通過氣動閘板閥依次連接的進樣室、過渡室、傳輸室及交接室，所述進樣室、過渡室及傳輸室的外側均設有磁耦合傳輸系統。

所述磁耦合傳輸系統包括齒形帶、驅動氣缸、調節支桿、定位光耦、支撐橫梁、伺服電機、限位塊、導軌及永磁磁鋼，其中支撐橫梁通過調節支桿安裝在所述支架上、并與所述樣品車行走通道平行，所述支撐橫梁上設有導軌、定位光耦及齒形帶傳動裝置，所述限位塊與所述齒形帶傳動裝置中的齒形帶固定連接，所述限位塊通過滑塊與所述導軌滑動連接；所述驅動氣缸安裝在所述限位塊上、并輸出軸與所述永磁磁鋼連接。

所述導軌的兩端設有限位開關。所述驅動氣缸沿豎直方向輸出動力。

所述傳輸小車組件包括小車底板、車輪組件、樣品托座及內磁鋼組件，其中小車底板的底部設有車輪組件，所述小車底板的上方設有樣品托座，所述小車底板的兩端均設有內磁鋼組件。

所述內磁鋼組件通過磁鐵支桿安裝在所述小車底板的兩端，所述小車底板的側面設有齒條。

一種用于超高真空下的全自動樣品多工序生產方法，其特征在于，