[發明專利]一種有機鈣鈦礦薄膜制備裝置及方法

在審

• 申請號: 201510745992.5
• 申請日: 2015-11-05
• 公開（公告）號: CN105256374A
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 蔡春鋒;畢崗
• 申請（專利權）人: 浙江大學城市學院
• 主分類號: C30B30/02
• 分類號: C30B30/02;C30B7/14
• 代理公司: 杭州九洲專利事務所有限公司 33101
• 代理人: 張羽振

1.一種有機鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：包括加熱平臺(1)、靜電電極和靜電發生器(3)；所述靜電電極包括上電極(21)和下電極(22)，且為金屬平板，平行放置，上電極(21)與下電極(22)保持絕緣；當在上電極(21)和下電極(22)之間施加電壓，在其中間形成均勻靜電場；所述靜電發生裝置(3)與上電極(21)和下電極(22)連接，為其提供電壓。

2.根據權利要求1所述的有機鈣鈦礦薄膜制備裝置，其特征在于：所述下電極(22)緊貼加熱平臺(1)表面，樣品放置在下電極(22)表面，加熱平臺(1)控制加熱溫度，靜電發生器(3)與上電極(21)與下電極(22)間距共同調節靜電場強度。

3.一種權利要求1所述的有機鈣鈦礦薄膜制備裝置的方法，其特征在于：包括如下步驟：

1)有機鈣鈦礦薄膜的制備：

有機鈣鈦礦薄膜采用旋涂方法，將有機鈣鈦礦前驅液旋涂在襯底表面；

首先將襯底加熱至60～80℃，然后迅速轉移至旋涂儀；

旋涂轉速為1500～2000rpm，旋涂時間為15～25s；

將表面旋涂有有機鈣鈦礦前驅液的襯底迅速轉移至加熱平臺，進行退火固化結晶；

2)利用外電場調控在有機鈣鈦礦薄膜結晶過程：

將旋涂有機鈣鈦礦前驅液的襯底放置到外電場裝置中進行退火固化處理；

外電場施加裝置具有加熱襯底與在垂直薄膜表面方向施加靜電場的功能；

控制襯底加熱溫度70～100℃，調節襯底表面靜電場強度0～5000V/cm，加熱時間控制在15～45分鐘；

加熱完畢后，將襯底取出，自然冷卻至室溫，即得到有機鈣鈦礦薄膜。