[發(fā)明專利]帶人工磁導體結構的高增益太赫茲天線

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510733273.1
• 申請日: 2015-10-30
• 公開（公告）號: CN105305034B
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發(fā)明（設計）人: 紀小麗;廖軼明;鄭挺;閆鋒
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: H01Q1/36
• 分類號: H01Q1/36;H01Q19/10
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳建和

1.帶人工磁導體結構的太赫茲天線，其特征是利用CMOS工藝后端的多層金屬工藝制造人工磁導體結構；天線具有六層金屬，從最底到最上層分別為M1~M6層；使用M6層制作天線，并通過通孔連接到由MOSEFTs器件構成的太赫茲傳感器上；使用M1和M2層制作人工磁導體底板來代替原有的光滑底板；M1層光滑底板為金屬平板， M2層光滑底板為金屬層，并制備成周期性金屬結構、M2層為正方形周期性金屬塊結構，正方形金屬塊邊長L為5-8微米，正方形金屬塊周期間隔為43-45微米，正方形金屬塊中心通過中心柱與底板相連，中心柱的尺寸是正方形金屬塊邊長的1/10-1/5；M2金屬層制備成周期性金屬塊結構和M1平板之間組成一個等效的LC振蕩電路；

天線等效為一個太赫茲電流源，將天線與此高表面阻抗底板之間的空間等效為一個輻射電阻；電流源流入輻射電阻的電流越大，天線的輻射效率越高。