[發明專利]一種臥式擴散爐快速降溫爐體

有效

• 申請號: 201510635912.0
• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN105222597B
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 劉良玉;彭宜昌;張寶峰;曹騫;賈京英
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00;F27D19/00;H01L21/67
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)43008
• 代理人: 周長清,戴玲

1.一種臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：包括反應石英管（2）和套設于反應石英管（2）外的電阻爐體（1），所述反應石英管（2）外壁與所述電阻爐體（1）內壁之間具有橫截面為環形的柱狀間隙，所述柱狀間隙的兩端均設有密封件（6）以使所述柱狀間隙形成封閉的通風通道（16），所述電阻爐體（1）上設有向所述通風通道（16）送風的進風口（14）和將所述通風通道（16）內的熱風排出的出風口（15），所述電阻爐體（1）包括殼體（8）、筒狀保溫層（9）和呈多圈螺旋狀的電阻爐絲（7），所述殼體（8）套設于筒狀保溫層（9）上，所述筒狀保溫層（9）套設于電阻爐絲（7）上，所述電阻爐絲（7）套設于反應石英管（2）外，所述反應石英管（2）與電阻爐絲（7）之間構成所述柱狀間隙，所述電阻爐絲（7）兩端均位于殼體（8）內，所述進風口（14）和出風口（15）位于殼體（8）外壁的兩端，所述進風口（14）與所述電阻爐絲（7）的一端部之間具有一定的軸向間距，所述出風口（15）與所述電阻爐絲（7）的另一端部之間具有一定的軸向間距，所述殼體（8）兩端分別設有多晶莫來石保溫棉圈（12），每個所述多晶莫來石保溫棉圈（12）套于殼體（8）內，與所述進風口（14）對應的多晶莫來石保溫棉圈（12）外表面上設有多個進風通風小孔（17），所述多個進風通風小孔（17）與進風口（14）連通，與所述出風口（15）對應的多晶莫來石保溫棉圈（12）外表面上設有多個出風通風小孔（18），所述多個出風通風小孔（18）與出風口（15）連通，所述多晶莫來石保溫棉圈（12）的外側通過固定壓環（13）固定在殼體（8）上。

2.根據權利要求1所述的臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：所述密封件（6）位于多晶莫來石保溫棉圈（12）的內壁與反應石英管（2）的外壁之間，且所述密封件（6）的外側通過保溫壓圈（21）壓緊。

3.根據權利要求1或2所述的臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：所述出風口（15）設置為兩個且對稱設置，每個出風口（15）與所述電阻爐體（1）的水平面的夾角為30°。

4.根據權利要求1或2所述的臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：所述柱狀間隙的底部設有用于托住反應石英管（2）以使反應石英管（2）的中心線與電阻爐體（1）的中心線重合的保溫棉墊片（20）。

5.根據權利要求1或2所述的臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：所述進風口（14）上連有進風連接管（3），所述出風口（15）上連有排風連接管（4），所述進風連接管（3）與進風口（14）之間設有勻流板（5），所述排風連接管（4）與出風口（15）之間設有勻流板（5）。

6.根據權利要求1或2所述的臥式擴散爐快速降溫爐體，其特征在于：所述反應石英管（2）的尾部通過保溫堵頭（22）壓住以避免所述反應石英管（2）軸向移動。