[發(fā)明專(zhuān)利]一種擴(kuò)散石英舟插片裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510632015.4 | 申請(qǐng)日: | 2015-09-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN105336653B | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-09-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 包君堅(jiān);馬政;蔡凱;毛振暉 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 橫店集團(tuán)東磁股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/677 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州杭誠(chéng)專(zhuān)利事務(wù)所有限公司33109 | 代理人: | 尉偉敏 |
| 地址: | 322118 *** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 擴(kuò)散 石英 舟插片 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及晶硅太陽(yáng)能電池片相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是指一種擴(kuò)散石英舟插片裝置。
背景技術(shù)
晶硅太陽(yáng)能電池片一般有如下生產(chǎn)工藝流程:化拋制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、PECVD、絲網(wǎng)印刷、測(cè)試包裝。其中:化拋制絨工序完成后的晶體硅電池裝在“花籃”中,花籃的每個(gè)槽中插有2片電池片,花籃的規(guī)格一般為50槽或100槽。而下一道擴(kuò)散制PN結(jié)工序需要將花藍(lán)中的電池片轉(zhuǎn)入有100個(gè)槽的石英舟上,放入800度高溫的爐管里進(jìn)行擴(kuò)散工序,形成PN結(jié)。每個(gè)槽口有兩片電池片。目前,一般采取人工插片的方法,即是用塑料材質(zhì)的鑷子將花籃中的電池片手工兩片每次夾取,插入石英舟上。這存在速度慢、崩點(diǎn)多、碎片率高、工作強(qiáng)度大等諸多問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在上述的不足,提供了一種速度快且碎片率低的擴(kuò)散石英舟插片裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種擴(kuò)散石英舟插片裝置,包括用于放置擴(kuò)散石英舟的石英舟固定座、組合型導(dǎo)向座、花籃固定座、用于放置電池片的花籃、工作臺(tái)和推手,所述的石英舟固定座和組合型導(dǎo)向座均固定安裝在工作臺(tái)上,所述的花籃固定座與工作臺(tái)滑動(dòng)連接,所述的石英舟固定座、組合型導(dǎo)向座和花籃固定座在一條直線(xiàn)上,所述的花籃置于花籃固定座上,所述的推手和花籃相配合。
通過(guò)花籃的設(shè)計(jì),可以將批量的電池片置于花籃中,然后將花籃置于花籃固定座中,通過(guò)推手將花籃中的批量電池片推到有擴(kuò)散石英舟的石英舟固定座中,其中通過(guò)組合型導(dǎo)向座來(lái)對(duì)電池片起導(dǎo)向作用,這樣設(shè)計(jì)可將電池片的插片時(shí)間大大的縮短,提升生產(chǎn)效率,同時(shí)提升成品率。
作為優(yōu)選,所述的石英舟固定座包括直角座、第一玻纖板、合頁(yè)、水平固定塊、前后固定塊、可調(diào)左右固定板和翻轉(zhuǎn)手柄,所述的直角座由成90度夾角的兩片板制作而成,所述的合頁(yè)安裝在一片板上且置于兩片板的結(jié)合處,所述的直角座通過(guò)合頁(yè)固定在工作臺(tái)上,所述的第一玻纖板有兩塊,所述的第一玻纖板上設(shè)有若干用于放置電池片的第一導(dǎo)槽,所述的兩塊第一玻纖板相互平行,所述的第一玻纖板安裝在直角座的一片板上且與直角座的另一片板平行,所述的水平固定塊、前后固定塊、可調(diào)左右固定板和翻轉(zhuǎn)手柄安裝在直角座的另一片板上。其中:第一玻纖板用于引導(dǎo)電池片的插入,水平固定塊、前后固定塊、可調(diào)左右固定板,用于放置和固定擴(kuò)散石英舟,翻轉(zhuǎn)手柄用于翻轉(zhuǎn)直角座;直角座用兩個(gè)合頁(yè)固定在工作臺(tái)上,使其可90度翻轉(zhuǎn),當(dāng)直角座的一面水平放置在底座時(shí),直角座的另一面垂直于底座。
作為優(yōu)選,所述的可調(diào)左右固定板包括左固定板和右固定板,所述的左固定板固定在直角座的另一片板左邊上,所述的右固定板安裝在直角座的另一片板右邊上,所述右固定板的外側(cè)設(shè)有可調(diào)塊,所述的右固定板通過(guò)可調(diào)塊固定在直角座的另一片板右邊上,所述的前后固定塊和水平固定塊置于左固定板和右固定板之間,所述的前后固定塊有四塊且均勻的分布在直角座的另一片板上,所述的水平固定塊有四塊且均勻的分布在左固定板的內(nèi)側(cè)和右固定板的內(nèi)側(cè),所述的翻轉(zhuǎn)手柄有兩個(gè)且均勻的分布在左固定板的外側(cè)和可調(diào)塊的外側(cè)。能夠更好的放置和固定擴(kuò)散石英舟,確保電池片能夠準(zhǔn)確的定位在擴(kuò)散石英舟中。
作為優(yōu)選,所述的組合型導(dǎo)向座包括固定座和第二玻纖板,所述固定座的橫截面形狀為直角三角形,所述的固定座有兩個(gè),所述的第二玻纖板有兩個(gè)且分別為上玻纖板和下玻纖板,所述的第二玻纖板上設(shè)有若干用于放置電池片的第二導(dǎo)槽,所述的兩個(gè)第二玻纖板置于兩個(gè)固定座之間,所述的固定座固定在工作臺(tái)上,所述的下玻纖板固定在固定座的下端,所述的上玻纖板固定在固定座的上端,所述上玻纖板的第二導(dǎo)槽和下玻纖板的第二導(dǎo)槽相對(duì),即所述的上玻纖板與下玻纖板上下對(duì)稱(chēng)。當(dāng)電池片從花籃固定座插入到石英舟固定座的擴(kuò)散石英舟上時(shí),對(duì)電池片起到了上下左右的導(dǎo)向作用,確保電池片準(zhǔn)確的進(jìn)入到擴(kuò)散石英舟中。
作為優(yōu)選,所述的第一導(dǎo)槽和第二導(dǎo)槽均為Y型導(dǎo)槽,所述Y型導(dǎo)槽的開(kāi)口方向均為朝向花籃固定座方向。Y型導(dǎo)槽的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),能夠快速有效的將電池片導(dǎo)入到Y(jié)型導(dǎo)槽中,方便快捷,提高工作效率。
作為優(yōu)選,所述的花籃固定座包括底板、滑軌、短固定塊、長(zhǎng)固定塊和手柄,所述的滑軌安裝在工作臺(tái)上,所述的底板安裝在滑軌上,所述的短固定塊有兩個(gè)且分別置于底板的左右兩邊緣處,所述的長(zhǎng)固定塊置于兩個(gè)短固定塊之間且與短固定塊的一端接觸,所述短固定塊的另一端與底板的前端齊平,所述的手柄有兩個(gè)且置于底板的后端左右兩邊。有效的將花籃定位在花籃固定座中,方便將花籃中的電池片插入到擴(kuò)散石英舟中,提高勞動(dòng)效率,降低勞動(dòng)強(qiáng)度。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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